Investigation of the Optical Properties of Ultrathin Films Based on Metal Silicide

E. A. Kerimov; Керимов Э. А.

doi:10.31857/S0544126923700229

Исследование оптических свойств сверхтонких пленок на основе силицида металлов

Авторы: Керимов Э.А.¹
Учреждения:
1. Азербайджанский государственный технический университет
Выпуск: Том 52, № 2 (2023)
Страницы: 160-164
Раздел: ТЕХНОЛОГИЯ
URL: https://journals.rcsi.science/0544-1269/article/view/138497
DOI: https://doi.org/10.31857/S0544126923700229
EDN: https://elibrary.ru/PYLCTO
ID: 138497

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ
Доступ закрыт

Доступ предоставлен
Доступ закрыт

Только для подписчиков

Аннотация
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

При исследовании оптических свойств тонких пленок для получения достоверных сведений о величине их оптических постоянных необходимо точно измерят толщины металла. Измерение толщины 600 < d < 1500 А⁰ проводились методом многолучевой интерферометрии и резонансно-частотным методом.

Ключевые слова

резонансно-частотный метод, оптические постоянные, метод многолучевой интерферометрии, кварцевой элемент

Об авторах

Э. А. Керимов

Азербайджанский государственный технический университет

Автор, ответственный за переписку.
Email: E_Kerimov.fizik@mail.ru
Азербайджан, AZ 1073, Баку, пр. Г. Джавида 35

Список литературы

Тришенков М.А. Фотоприемные устройства и ПЗС. М.: Радио и связь, 1992. 400 с.
Elliott C.T. Future infrared detector technologies // Fourth Int. Conf. on Advanced Infrared Detectors and Systems. 1990. P. 61–66.
Byrne C.F., Knowles P. Infrared formed in mercury cadmium telluride grown by MOCVD // Semicond. Sci. Technol. 1988. № 3. P. 377–381.
Иевлев В.М., Солдатенко С.А., Кущев С.Б. и др. Эффект фотонной активации синтеза пленок силицидов в гетеросистеме (111) Si–Ni–Pt // Конденсированные среды и межфазные границы. 2010. Т. 9. № 3. С. 216–227.