Investigation of the Optical Properties of Ultrathin Films Based on Metal Silicide

E. A. Kerimov; Керимов Э. А.

doi:10.31857/S0544126923700229

Investigation of the Optical Properties of Ultrathin Films Based on Metal Silicide

Авторлар: Kerimov E.¹
Мекемелер:
1. Azerbaijan Technical University
Шығарылым: Том 52, № 2 (2023)
Беттер: 160-164
Бөлім: ТЕХНОЛОГИЯ
URL: https://journals.rcsi.science/0544-1269/article/view/138497
DOI: https://doi.org/10.31857/S0544126923700229
EDN: https://elibrary.ru/PYLCTO
ID: 138497

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат
Рұқсат жабық

Рұқсат берілді
Рұқсат жабық

Тек жазылушылар үшін

Аннотация
Авторлар туралы
Әдебиет тізімі
Қосымша файлдар
Статистика

Аннотация

When studying the optical properties of thin films, in order to obtain reliable information about the magnitude of their optical constants, it is necessary to accurately measure the thickness of the metal. Thickness 600 < d < 1500 Å is measured by the method of multibeam interferometry and the resonant-frequency method.

Негізгі сөздер

resonant frequency method, optical constants, multibeam interferometry method, quartz element

Авторлар туралы

E. Kerimov

Azerbaijan Technical University

Хат алмасуға жауапты Автор.
Email: E_Kerimov.fizik@mail.ru
Baku, AZ 1073 Azerbaijan

Әдебиет тізімі

Тришенков М.А. Фотоприемные устройства и ПЗС. М.: Радио и связь, 1992. 400 с.
Elliott C.T. Future infrared detector technologies // Fourth Int. Conf. on Advanced Infrared Detectors and Systems. 1990. P. 61–66.
Byrne C.F., Knowles P. Infrared formed in mercury cadmium telluride grown by MOCVD // Semicond. Sci. Technol. 1988. № 3. P. 377–381.
Иевлев В.М., Солдатенко С.А., Кущев С.Б. и др. Эффект фотонной активации синтеза пленок силицидов в гетеросистеме (111) Si–Ni–Pt // Конденсированные среды и межфазные границы. 2010. Т. 9. № 3. С. 216–227.