Іздеу

Шығарылым
Атауы
Авторлар
Том 118, № 2 (2023): THEMED SECTION: FUNDAMENTAL PROBLEMS OF MULTILEVEL METALLIZATION SYSTEMS FOR ULTRA-LARGE INTEGRATED CIRCUITS
Analysis of the Possibility of Independent Control of Various Plasma Parameters of an RF Non-Self-Sustained Plasma Discharge with Additional Ionization by an Electron Beam
Bogdanova M., Lopaev D., Proshina O., Rakhimova T., Rakhimov A.
PDF
(Rus)
Том 118, № 2 (2023): THEMED SECTION: FUNDAMENTAL PROBLEMS OF MULTILEVEL METALLIZATION SYSTEMS FOR ULTRA-LARGE INTEGRATED CIRCUITS
Study of Methods for Anisotropic Plasma-Chemical Etching of Low-k Layers with Protection of the Porous Structure of the Material
Miakonkikh A., Gaidukasov R., Kuzmenko V.
PDF
(Rus)
Том 117, № 1 (2023): ТЕМАТИЧЕСКИЙ БЛОК: СОВРЕМЕННЫЕ ПРОБЛЕМЫ ФОТОНИКИ ИНФРАКРАСНОГО ДИАПАЗОНА
Generation of a Microwave-to-Terahertz Supercontinuum in the Field of High-Power Femtosecond Mid-Infrared Laser Pulses
Mitrofanov A., Sidorov-Biryukov D., Voronin A., Rozhko M., Glek P., Nazarov M., Serebryannikov E., Fedotov A.
PDF
(Rus)
Том 118, № 2 (2023): THEMED SECTION: FUNDAMENTAL PROBLEMS OF MULTILEVEL METALLIZATION SYSTEMS FOR ULTRA-LARGE INTEGRATED CIRCUITS
Main Aspects of Metallization Formation in Sub-10 nm Integrated Circuit Manufacturing Technology
Amirov I., Kupriyanov A., Naumov V., Izyumov M., Voloshin D., Kropotkin A., Lopaev D., Rakhimova T.
PDF
(Rus)
Том 118, № 2 (2023): THEMED SECTION: FUNDAMENTAL PROBLEMS OF MULTILEVEL METALLIZATION SYSTEMS FOR ULTRA-LARGE INTEGRATED CIRCUITS
Alternative Technological Schemes and Processes for the Formation of Ruthenium-Based Multilevel Metallization Structures for ULSI
Rogozhin A., Permiakova O., Smirnova E., Lomov A., Simakin S., Rudenko K.
PDF
(Rus)
Том 123, № 3-4 (2024): THEMED SECTION: STRUCTURAL DIAGNOSTICS OF MATERIALS
Th e Relationship between the Particle Size Distribution of Aluminum Powder and the Structural-Phase Composition and Properties of the Al2O3—AlN Coating Formed under the Infl uence of Electric Arc Nitrogen Plasma
Volchkov I., Podkur P., Muslimov A., Gadzhiev M., Ilyichev M., Kanevsky V.
PDF
(Rus)
Нәтижелер 6 - 1/6
Сыбырсөздер:
  • Негізгі сөздер тіркелімге сезімтал< / li>
  • Ағылшын предлогтары мен одақтары еленбейді
  • Әдепкі бойынша іздеу барлық негізгі сөздер үшін жасалады (агенс AND экспериенцер)
  • Белгілі бір терминді табу үшін OR қолданыңыз. білім беру OR оқыту
  • мысалы, күрделі сөз тіркестерін жасау үшін жақшаларды қолданыңыз. мұрағат ((журналдар OR конференциялар) NOT диссертациялар)
  • Нақты фразаны табу үшін, мысалы, тырнақшаларды қолданыңыз. "ғылыми зерттеулер"
  • сөзді - (сызықша) немесе not операторының көмегімен алып тастаңыз; мысалы. сұлулық байқауы< / em > немесе сұлулық байқауы< / em > < / li>
  • мысалы, нұсқа ретінде * қолданыңыз. ғылым* "ғылыми","ғылыми"және т. б. сөздерді қамтиды< / li> < / < / к-сі>

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).