Отправить статью по E-mail Альтернативная технологическая схема и процессы формирования структур многоуровневой металлизации УБИС на основе рутения - PDF (Русский)
© Рогожин А.Е., Пермякова О.О., Смирнова Е.А., Ломов А.А., Симакин С.Г., Руденко К.В., 2023
© Рогожин А.Е., Пермякова О.О., Смирнова Е.А., Ломов А.А., Симакин С.Г., Руденко К.В., 2023