Основные аспекты формирования металлизации в субдесятинанометровой технологии изготовления интегральных схем - PDF (Русский)


© Амиров И.И., Куприянов А.Н., Наумов В.В., Изюмов М.О., Волошин Д.Г., Кропоткин А.Н., Лопаев Д.В., Рахимова Т.В., 2023

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).