Investigation of Composition Uniformity in Thickness of GaInAsP Layers Grown on InP Substrates by Vapor-Phase Epitaxy


Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

GaInPAs/InP heterostructures grown by metalorganic chemical vapor-phase deposition at a temperature of 600°C and pressure of 0.1 bar are investigated. The thicknesses of the grown GaInAsP layers amount to about 1 μm. For Ga1 –xInxP1 –yAsy solid solutions with average compositions of x = 0.77–0.87 and y = 0.07–0.42, the variation in the content y of V-group atoms over the epitaxial-layer thickness by a value of Δy up to 0.1 atomic fractions in the sublattice of the V-group elements is revealed by secondary ion mass spectrometry. In most cases, a change in y occurs in the GaInAsP layer over a length to 200 nm from the InP heterointerface. In certain cases, y varies throughout the entire GaInPAs-layer thickness. For the epitaxial layers with satisfactory crystalline perfection, the value of Δy is less in the case of better lattice-matching between the GaInPAs epitaxial layer and the substrate. For GaInPAs layers strongly lattice-mismatched with the substrate and characterized by a low degree of crystalline perfection, the value of Δy is close to zero. All these facts enable us to assume that it is elastic deformations arising in the forming monolayer lattice-mismatched with the growing surface that affect the incorporation of V-group atoms into the forming crystalline lattice.

Об авторах

G. Gagis

Ioffe Institute

Автор, ответственный за переписку.
Email: galina.gagis@gmail.com
Россия, St. Petersburg, 194021

R. Levin

Ioffe Institute

Email: galina.gagis@gmail.com
Россия, St. Petersburg, 194021

A. Marichev

Ioffe Institute

Email: galina.gagis@gmail.com
Россия, St. Petersburg, 194021

B. Pushnyi

Ioffe Institute

Email: galina.gagis@gmail.com
Россия, St. Petersburg, 194021

M. Scheglov

Ioffe Institute

Email: galina.gagis@gmail.com
Россия, St. Petersburg, 194021

B. Ber

Ioffe Institute

Email: galina.gagis@gmail.com
Россия, St. Petersburg, 194021

D. Kazantsev

Ioffe Institute

Email: galina.gagis@gmail.com
Россия, St. Petersburg, 194021

Yu. Kudriavtsev

Cinvestav-IPN

Email: galina.gagis@gmail.com
Мексика, Cinvestav-IPN, 2508

A. Vlasov

Ioffe Institute

Email: galina.gagis@gmail.com
Россия, St. Petersburg, 194021

T. Popova

Ioffe Institute

Email: galina.gagis@gmail.com
Россия, St. Petersburg, 194021

D. Chistyakov

ITMO University

Email: galina.gagis@gmail.com
Россия, St. Petersburg, 197101

V. Kuchinskii

Ioffe Institute; St. Petersburg Electrotechnical University “LETI”

Email: galina.gagis@gmail.com
Россия, St. Petersburg, 194021; St. Petersburg, 197022

V. Vasil’ev

Ioffe Institute

Email: galina.gagis@gmail.com
Россия, St. Petersburg, 194021

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Pleiades Publishing, Ltd., 2019

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».