Автор туралы ақпарат
Mizerov, M.N.
| Шығарылым | Бөлім | Атауы | Файл |
| Том 52, № 16 (2018) | 26th INTERNATIONAL SYMPOSIUM “NANOSTRUCTURES: PHYSICS AND TECHNOLOGY”. NANOSTRUCTURE TECHNOLOGY | FIB Lithography Challenges of Si3N4/GaN Mask Preparation for Selective Epitaxy |