Determination of the Free Charge Carrier Concentration in Boron-Doped Silicon Nanowires Using Attenuated Total Reflection Infrared Spectroscopy


Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Attenuated total reflection infrared spectroscopy is used to determine the free charge carrier concentration in arrays of silicon nanowires with characteristic transverse sizes of 50–100 nm and a length of the order of 10 μm formed on lightly doped crystalline p-type silicon by metal-assisted chemical etching and subjected to the additional thermal-diffusion doping of boron at temperatures of 850–1000°C. It is found that the free hole concentration in arrays varies from 5 × 1018 to 3 × 1019 cm–3 depending on the annealing temperature and is maximal at temperatures of 900–950°C. These results can be used to extend the range of potential application of silicon nanowires in photonics, sensorics, and thermoelectric power converters.

Об авторах

E. Lipkova

Moscow State University, Faculty of Physics

Email: efimova@vega.phys.msu.ru
Россия, Moscow, 119991

A. Efimova

Moscow State University, Faculty of Physics

Автор, ответственный за переписку.
Email: efimova@vega.phys.msu.ru
Россия, Moscow, 119991

K. Gonchar

Moscow State University, Faculty of Physics

Email: efimova@vega.phys.msu.ru
Россия, Moscow, 119991

D. Presnov

Moscow State University, Faculty of Physics; Moscow State University, D.V. Skobeltsyn Institute of Nuclear Physics

Email: efimova@vega.phys.msu.ru
Россия, Moscow, 119991; Moscow, 119234

A. Eliseev

Moscow State University, Faculty of Materials Science

Email: efimova@vega.phys.msu.ru
Россия, Moscow, 119991

A. Lapshin

Bruker Ltd

Email: efimova@vega.phys.msu.ru
Россия, Moscow, 119017

V. Timoshenko

Moscow State University, Faculty of Physics; National Research Nuclear University “MEPhI”; Lebedev Physical Institute, Russian Academy of Sciences

Email: efimova@vega.phys.msu.ru
Россия, Moscow, 119991; Moscow, 115409; Moscow, 119991

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML

© Pleiades Publishing, Ltd., 2019

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».