Кинетика экспонирования слоя позитивного фоторезиста на оптически согласованной подложке

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Проведен анализ ряда работ, посвященных моделированию процесса экспонирования фотоактивного слоя, лежащего на оптически согласованной подложке. Показана связь уравнений Дилла с ранее полученными системами уравнений. Последовательно рассмотрены способы сведения системы двух уравнений Дилла в частных производных к обыкновенным дифференциальным уравнениям, точность численного решения которых можно легко контролировать. Предложена процедура использования таких уравнений для характеризации фотохимических свойств позитивных фоторезистов.

Полный текст

Доступ закрыт

Об авторах

В. П. Кудря

Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”

Автор, ответственный за переписку.
Email: kvp@ftian.ru

Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН

Россия, Москва

Список литературы

  1. Технология СБИС. Кн. 2. Под ред. С. Зи. М.: Мир. 1986. 453 с. [VLSI Technology. Edited by S. M. Sze. McGraw-Hill Book Company, New York, 1983]
  2. Wegscheider R. Beiträge zur photochemischen Kinetik // Zeitschrift für Physikalische Chemie. 1922. V. 103. No. 1. P. 273–306. https://doi.org/10.1515/zpch-1922-10318
  3. Herrick C.E. The Sensitometry of the Positive Diazotype Process // Journal of the Optical Society of America. 1952. V. 42. No. 12. P. 904–910. https://doi.org/10.1364/JOSA.42.000904
  4. Herrick C.E. Solution of the Partial Differential Equations Describing Photodecomposition in a Light-absorbing Matrix having Light-absorbing Photoproducts // IBM Journal of Research and Development. 1966. V. 10. No. 1. P. 2–5. https://doi.org/10.1147/rd.101.0002
  5. Dill F.H., Neureuther A.R. Machining integrated optical structures in photoresist // IEEE Transactions on Electron Devices. 1973. V. 20. No. 12. P. 1173–1173. https://doi.org/10.1109/T-ED.1973.17826
  6. Neureuther A.R., Dill F.H. Photoresist modeling and device fabrication applications // Proceedings of the Symposium on Optical and Acoustical Microelectronics. Microwave Research Institute Symposia Series. 1975. V. 18. P. 233–249.
  7. Dill F.H., Hornberger W.P., Hauge P.S., Shaw J.M. Characterization of positive photoresist // IEEE Transactions on Electron Devices. 1975. V. 22. No. 7. P. 445–452. https://doi.org/10.1109/T-ED.1975.18159
  8. Dill F.H., Neureuther A.R., Tuttle J.A., Walker E.J. Modeling Projection Printing of Positive Photoresists // IEEE Transactions on Electron Devices. 1975. V. 22. No. 7. P. 456–464. https://doi.org/10.1109/T-ED.1975.18161
  9. Арушанян О.Б., Залёткин С.Ф. Численное решение обыкновенных дифференциальных уравнений на Фортране. М.: Изд. МГУ. 1990. 336 с.
  10. Dill F.H., Tuttle J.A., Neureuther A.R. Limits of optical lithography // International Electron Devices Meeting. 1974. P. 13–16. https://doi.org/10.1109/IEDM.1974.6219620
  11. Хемминг Р.В. Численные методы для научных работников и инженеров. М.: Наука. 1968. 400 с. [Hamming R. W. Numerical Methods for Scientists and Engineers. McGraw-Hill Book Company, New York, 1962]
  12. Краснов М.Л. Обыкновенные дифференциальные уравнения. М.: Высшая школа. 1983. 128 с.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
2. Приложение
Скачать (150KB)

© Российская академия наук, 2025

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».