Автор туралы ақпарат
Fedina, L.
Шығарылым | Бөлім | Атауы | Файл |
Том 52, № 13 (2018) | Surfaces, Interfaces, and Thin Films | Redistribution of Erbium and Oxygen Recoil Atoms and the Structure of Silicon Thin Surface Layers Formed by High-Dose Argon Implantation through Er and SiO2 Surface Films |