Микроэлектроника
ISSN 0544-1269 (Print)
Меню
Архив
Главная
О журнале
Редакция
Редакционная политика
Правила для авторов
О журнале
Выпуски
Поиск
Текущий выпуск
Архив
Контакты
Все журналы
Пользователь
Имя пользователя
Пароль
Запомнить меня
Забыли пароль?
Регистрация
Поиск
Поиск
Область поиска
Все
Авторы
Название
Резюме
Термины
Полный текст
Листать
выпуски
авторы
по заглавиям
другие журналы
×
Пользователь
Имя пользователя
Пароль
Запомнить меня
Забыли пароль?
Регистрация
Поиск
Поиск
Область поиска
Все
Авторы
Название
Резюме
Термины
Полный текст
Листать
выпуски
авторы
по заглавиям
другие журналы
Главная
>
Поиск
>
Информация об авторе
Информация об авторе
Мурин, Д. Б.
Выпуск
Раздел
Название
Файл
Том 52, № 1 (2023)
ДИАГНОСТИКА
Контроль параметров травления кремния в вч плазме CHF
3
методом оптической эмиссионной спектроскопии
Том 52, № 1 (2023)
ДИАГНОСТИКА
Электрофизические характеристики и эмиссионные спектры плазмы тетрафторметана
Том 52, № 5 (2023)
ДИАГНОСТИКА
Электрофизические параметры и эмиссионные спектры тлеющего разряда дифтордихлорметана
Том 52, № 6 (2023)
ДИАГНОСТИКА
Зондовая и спектральная диагностика плазмы газовой среды: BCl
3
–Cl
2
Данный сайт использует cookie-файлы
Продолжая использовать наш сайт, вы даете согласие на обработку файлов cookie, которые обеспечивают правильную работу сайта.
О куки-файлах
TOP