Three-Axis Micro-Opto-Electro-Mechanical Angular Velocity Transducer Based on the Optical Tunneling Effect
- Авторы: Busurin V.I.1, Fam A.T.1, Zheglov M.A.2, Medvedev V.M.1,2
- 
							Учреждения: 
							- Moscow Aviation Institute
- State Scientific Research Institute of Instrument Making
 
- Выпуск: Том 53, № 6 (2017)
- Страницы: 562-569
- Раздел: Modeling in Physical and Technical Research
- URL: https://journals.rcsi.science/8756-6990/article/view/212272
- DOI: https://doi.org/10.3103/S8756699017060048
- ID: 212272
Цитировать
Аннотация
A three-axis micro-opto-electro-mechanical (MOEM) angular velocity transducer model based on the optical tunneling effect was developed. The transfer function was determined, and the effect of destabilizing factors on the characteristics of the three-axis MOEM angular velocity transducer was evaluated. The dynamic range of the MOEM transducer based on the optical tunneling effect was calculated.
Ключевые слова
Об авторах
V. Busurin
Moscow Aviation Institute
							Автор, ответственный за переписку.
							Email: vbusurin@mail.ru
				                					                																			                												                	Россия, 							Volokolamskoe Shosse 4, A-80, GSP-3, Moscow, 125993						
A. Fam
Moscow Aviation Institute
														Email: vbusurin@mail.ru
				                					                																			                												                	Россия, 							Volokolamskoe Shosse 4, A-80, GSP-3, Moscow, 125993						
M. Zheglov
State Scientific Research Institute of Instrument Making
														Email: vbusurin@mail.ru
				                					                																			                												                	Россия, 							pr. Mira 125, Moscow, 129226						
V. Medvedev
Moscow Aviation Institute; State Scientific Research Institute of Instrument Making
														Email: vbusurin@mail.ru
				                					                																			                												                	Россия, 							Volokolamskoe Shosse 4, A-80, GSP-3, Moscow, 125993; pr. Mira 125, Moscow, 129226						
Дополнительные файлы
 
				
			 
						 
					 
						 
						 
						 
									 
  
  
  
  
  Отправить статью по E-mail
			Отправить статью по E-mail  Открытый доступ
		                                Открытый доступ Доступ предоставлен
						Доступ предоставлен Только для подписчиков
		                                		                                        Только для подписчиков
		                                					