№ 8 (2025)
Статьи
ПОТЕНЦИАЛ МЕТОДА ВЫСОКОЧАСТОТНОГО КАТОДНОГО НАПЫЛЕНИЯ ДЛЯ СИНТЕЗА СВИНЕЦСОДЕРЖАЩИХ АНТИСЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК
Аннотация
В работе исследован потенциал применения метода высокочастотного катодного напыления в кислородной атмосфере для синтеза тонкопленочных свинецсодержащих антисегнетоэлектрических материалов. С использованием мишени химического состава PbHfO3 синтезированы две пленки на подложках Si(001) и SrRuO3/SrTiO3/MgO(001). Сформированные пленки охарактеризованы методами монокристальной рентгеновской дифракции, включая построение карт обратного пространства, и энергодисперсионной спектроскопии. Продемонстрировано, что данный метод синтеза позволяет выращивать поликристаллические пленки на основе материалов со структурой перовскита. На гетерофазной подложке получена эпитаксиальная пленка с ромбической сингонией и новой кристаллической решеткой, отличной от известной для PbHfO3. Выявлено соотношение параметров ячейки пленки и промежуточного слоя 7 к 6, при котором наблюдали совпадение узлов структуры пленки и подложки, т.е. это происходит при наложении 7 элементарных ячеек пленки и 6 ячеек слоя SrRuO3. Это указывает на сложный характер ориентации образованного свинецсодержащего слоя. Анализ морфологии образцов показал существенные различия между образцами по размеру и распределению зерен. Полученные данные подтверждают высокую чувствительность фазового состава к типу подложки и демонстрируют перспективность метода высокочастотного катодного напыления для создания новых функциональных оксидных пленок, пригодных для использования в микроэлектронике, сенсорике и энергоэффективных устройствах.
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2025;(8):3–9
3–9
РАСЧЕТ КОЭФФИЦИЕНТА ЭЛЕКТРОННОЙ ЭМИССИИ ПРИ ПРОХОЖДЕНИИ БЫСТРЫХ ИОНОВ ЧЕРЕЗ КРЕМНИЙ
Аннотация
Метод на основе теории возмущений для описания ионизационных ионно-атомных столкновений и алгоритма статистического моделирования траекторий вторичных электронов предложен для расчета коэффициента электронной эмиссии из бесструктурной твердой мишени. Основной вклад в количество испускаемых поверхностью электронов вносят электроны с энергией Ee < 50 эВ. Только небольшой слой мишени толщиной 20–40 Å определяет количество электронов, испускаемых поверхностью. Если толщина мишени превышает эту величину, коэффициент электронной эмиссии от толщины мишени не зависит. Изменение энергии и заряда быстрого иона в таком тонком слое можно не учитывать, а для оценок количества вторичных электронов использовать энергию и заряд иона, вылетевшего из мишени.
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2025;(8):10–19
10–19
ИЗОБРАЖАЮЩАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ В МЯГКОМ РЕНТГЕНОВСКОМ ДИАПАЗОНЕ НА БАЗЕ КОММЕРЧЕСКИХ НЕОХЛАЖДАЕМЫХ КМОП-ДЕТЕКТОРОВ
Аннотация
Детекторы на основе КМОП-матриц (КМОП — комплементарная структура металл–оксид–полупроводник) широко применяются для решения большого спектра задач, требующих построения изображений. Помимо массового использования в составе обычных камер, в том числе в мобильных телефонах, сегодня их все чаще применяют в различных областях науки и техники: дозиметрии, изображающей нейтронной и рентгеновской спектроскопии. На базе таких устройств могут быть построены как аппараты для рентгеновской микроскопии, так и рентгеновские телескопы, например, для исследования различных астрофизических объектов. Рассмотрена возможность применения двух КМОП-матриц компании Sony IMX265LLR-C и IMX226CLJ-C для одновременного построения изображений и спектров в области мягкого рентгеновского диапазона. Показано, что в диапазоне от 1 до 22 кэВ детекторы обладают высоким энергетическим разрешением. Проведено сравнение двух матриц, и рассмотрены их особенности для применения при регистрации излучения в различных энергетических диапазонах.
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2025;(8):20–28
20–28
МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ ТЕХНИЧЕСКИ ЧИСТОГО ТИТАНА КОМБИНИРОВАНИЕМ ПЛАЗМЕННО-ЭЛЕКТРОЛИТНЫХ МЕТОДОВ ЦЕМЕНТАЦИИ, ПОЛИРОВКИ И МИКРОДУГОВОГО ОКСИДИРОВАНИЯ
Аннотация
Показана возможность комбинирования плазменно-электролитных методов цементации, полировки и микродугового оксидирования технически чистого титана для повышения микротвердости, износостойкости и улучшение внешнего вида модифицированной поверхности за счет устранения дефектов покрытия. Методами рентгенофазового анализа изучены структурно-фазовые изменения на поверхности образцов после обработки, что позволило обнаружить в диффузионном слое, являющемся результатом цементации, твердые карбиды титана TiC и Ti8C5 и определить глубину диффузии углерода и кислорода. Изучено влияние каждого из способов плазменно-электролитной обработки на трибологическое поведение в паре трения с закаленной сталью марки ШХ15. Наименьший коэффициент трения поверхности наблюдали в образцах после цементации при 900°С, полировки при напряжении 250 В и микродугового оксидирования при плотности тока 12 А/дм2. Определено, что увеличение массовых потерь при трении и рост объема удаленного материала образцов после комбинированной обработки связано с увеличением площади контакта в трибосопряжении, что подтверждено увеличением износа контртела. Проведена оценка качества модифицированной поверхности по данным геометрии следов износа, рассчитан комплексный критерий Крагельского–Комбалова и определен вид изнашивания. Критерий Крагельского–Комбалова у образцов (или на поверхности образцов) после плазменно-электролитной обработки уменьшается в 1.2–1.4 раза, что указывает на повышение несущей способности шероховатого профиля модифицированных образцов. Механизм изнашивания — это усталостный износ при пластическом деформировании трибологического сопряжения.
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2025;(8):29–40
29–40
ОПТИЧЕСКИЕ СПЕКТРЫ, МОРФОЛОГИЯ И ФОТОПРОВОДИМОСТЬ ТОНКИХ ПЛЕНОК SnPc, ОСАЖДЕННЫХ ПРИ РАЗНЫХ ТЕМПЕРАТУРАХ
Аннотация
Измерены спектры пропускания в УФ-видимом и ближнем ИК-диапазонах, изучена кристаллическая структура и поверхностный рельеф пленок фталоцианина олова SnPc, полученных термовакуумным напылением на подложки при разной температуре (Tg). Показано, что тонкая пленка SnPc толщиной около 100 нм становится почти панхроматическим фотоабсорбером: характерное для всех порфириноидов “зеленое окно” в ней может сужаться до интервала 410–490 нм, а длинноволновый край Q-полосы достигать 1100–1200 нм в зависимости от условий роста. При Tg ниже комнатной температуры пленки рентгеноаморфны, а при Tg > 25°C происходит постепенное накопление триклинной фазы. Структура пленок всегда зернистая, но размеры, форма и плотность упаковки зерен сильно различаются в образцах, полученных при разных Tg. Измерена удельная проводимость в темноте и при постоянном освещении симулированным солнечным светом, и обнаружено что в пленках SnPc, осажденных при повышенных Tg, фототок при остаточном освещении с длинами волн более 1 мкм выше темнового на порядок величины.
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2025;(8):41–53
41–53
ВЛИЯНИЕ РАЗМЕРА КЛАСТЕРА НИКЕЛЯ НА ПОВЕРХНОСТИ ОКСИДА АЛЮМИНИЯ α-Al2O3(0001) НА ХАРАКТЕР АДСОРБЦИИ МОЛЕКУЛ ОКСИДА АЗОТА NO
Аннотация
С применением сочетания методов анализа поверхности и теоретических расчетов методом функционала плотности показано, что электронные и адсорбционные свойства нанокластеров никеля на поверхности пленки оксида алюминия α-Al2O3(0001) по отношению к молекуле оксида азота (NO) существенно зависят от размера кластера. Свойства кластеров Ni эффективным размером, не превышающим 2 нм, преимущественно определяются формированием поляризованной в сторону оксидной подложки хемосорбционной связи Ni–Al2O3. В результате этого наночастицы Ni приобретают положительный заряд, следствием чего является усиление внутримолекулярной связи адсорбированных на их поверхности молекул NO по сравнению со случаем адсорбции на поверхности массивного кристалла Ni. С увеличением размера кластера хемосорбционная связь деполяризуется за счет усиления латерального взаимодействия Ni–Ni, и при толщине покрытия, превышающей 0.25 эквивалентных моноатомных слоев, адсорбционные свойства близки к таковым, характерным для массивного образца Ni. Такая зависимость свойств от размера кластера открывает возможность контроля электронных и адсорбционных свойств металлического кластера и металлооксидной системы в целом.
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2025;(8):54–63
54–63
IN SITU РЕНТГЕНОВСКИЕ ДИФРАКЦИОННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ РОСТА ТОНКИХ ПЛЕНОК YSZ И GDC С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ СИНХРОТРОННОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
Аннотация
В настоящей работе исследовано формирование и эволюция во времени кристаллической структуры тонких пленок диоксида циркония, стабилизированного оксидом иттрия, ZrO2:Y2O3 (YSZ) и оксида церия, допированного гадолинием, Ce0.9Gd0.1O2 (GDC), нанесенных методом реактивного среднечастотного магнетронного распыления на подложку из сплава ВК-8 и предназначенных для использования в качестве слоя электролита твердооксидных топливных элементов микротрубчатой конструкции. Нанесение пленок проводили в вакуумной установке, специально разработанной для in situ рентгеновских дифракционных исследований роста тонких пленок с использованием синхротронного излучения. Показано, что текстура формируемых пленок определяется температурой подложки. При температуре подложки 100‒187°С происходит формирование пленок с кубической кристаллической решеткой. При таких условиях нанесения пленки YSZ имеют преимущественную ориентацию (200), в то время как для пленок GDC происходит изменение преимущественной ориентации с (111) на (220) в процессе их роста. Для получения пленок YSZ и GDC c преимущественной ориентацией (111), обладающих наибольшей ионной проводимостью, необходимо увеличивать подвижность адсорбируемых атомов путем повышения температуры подложки или подачи на нее напряжения смещения. Показано, что в обеих пленках при используемых параметрах осаждения формируются сжимающие остаточные напряжения, которые немного уменьшаются по амплитуде с увеличением толщины пленок за счет увеличения размера зерна.
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2025;(8):64–74
64–74
ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЕ СИНХРОТРОННЫЕ РЕНТГЕНОВСКИЕ IN SITU ИССЛЕДОВАНИЯ МИКРОСТРУКТУРЫ И ФАЗОВОГО СОСТАВА АДДИТИВНО ИЗГОТОВЛЕННОГО МЕТАЛЛОМАТРИЧНОГО КОМПОЗИТА Ti–6Al–4V/TiC
Аннотация
Методами рентгеноструктурного анализа, оптической, растровой и просвечивающей электронной микроскопии исследованы микроструктура и фазовый состав образцов металломатричного композита Ti–6Al–4V/TiC, полученных с использованием проволочной электронно-лучевой аддитивной технологии. Показано, что микроструктура композита Ti-6Al–4V/TiC состоит из первичных β-зерен, содержащих пластины α/α′, разделенные прослойками остаточных β- и α′′-фаз. По границам первичных β-зерен выделяются частицы карбида TiC неравноосной формы с размерами 1–2 мкм. Методом рентгеновской дифракции с использованием синхротронного излучения исследованы закономерности изменения фазового состава 3D-напечатанных образцов Ti–6Al–4V/TiC в процессе нагрева от комнатной температуры до 1100°С. Проанализирован характер изменения формы и положения рентгеновских пиков α/α′- и β-фаз в процессе нагрева композита. Показано, что в диапазоне температур 700–800°С имеют место сдвиг рентгеновского пика 110 β-фазы в область больших углов дифракции, а также изменение его полуширины, связанное с образованием и последующим распадом орторомбической α′′-фазы.
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2025;(8):75–84
75–84
РЕЛАКСАЦИЯ ПЛАЗМОННЫХ ВОЗБУЖДЕНИЙ В ТВЕРДЫХ ТЕЛАХ
Аннотация
В работе рассмотрено влияние процесса распада плазмонных (ленгмюровских) возбуждений на процессы вторичной электронной эмиссии. Выполнена оценка времени процесса распада плазмонных возбуждений. Установлена связь процесса релаксации плазмонных возбуждений с выходом электронно-фотонной эмиссии. Электронно-ионная плазма твердого тела, взаимодействующая с потоком электронов, энергия которых заметно превышает энергию Ферми, рассмотрена на основе квантовой электродинамики. Показано, что квантовое описание плазмонов приводит к понятию электромагнитного вакуума продольных ленгмюровских волн. Вакуум продольных волн существенно изменяет диэлектрическую проницаемость плазмы твердого тела, что приводит к уширению и смещению пиков потерь энергии быстрых электронов, рассеиваемых твердым телом. Взаимодействие плазмонов с плазмонным вакуумом приводит к релаксации плазменных возбуждений и рождению продольных фотонов. Представленный в работе механизм релаксации плазмонов позволяет объяснить ряд явлений, казавшихся аномальными, а именно, поляризацию электронно-фотонной эмиссии, наблюдаемой на плазмонных частотах, и особенности в спектрах вторичной электронной эмиссии на плазмонных энергиях, наблюдаемые при ионной и электронной бомбардировках. В работе представлено сравнение спектров электронно-фотонной эмиссии с дифференциальными сечениями неупругих потерь энергии быстрых электронов на возбуждение плазмонов. В работе обсуждены возможные практические приложения явлений, наблюдаемых при релаксации коллективных возбуждений плазмы твердого тела.
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2025;(8):85–93
85–93
ОПРЕДЕЛЕНИЕ ФАЗОВОГО СОСТАВА НАНОНИТЕЙ ОКСИДОВ ВАНАДИЯ
Аннотация
Методом электроспиннинга получены нанонити, состоящие из смеси фаз оксидов ванадия. Определены их фазовый и количественный составы методами рентгенофазового и полнопрофильного анализа. Показано, что расчет условных концентраций при анализе фазового состава с помощью программы “Качественный анализ” дает результаты с высокой погрешностью, и для точного определения концентрации фаз в многофазных образцах оксидов ванадия необходимо использовать полнопрофильный анализ или метод количественного анализа (при возможности проведения).
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2025;(8):94–97
94–97
КОГЕРЕНТНОЕ РЕНТГЕНОВСКОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ РЕЛЯТИВИСТСКИХ ЭЛЕКТРОНОВ В СОСТАВНОЙ МИШЕНИ
Аннотация
Развита динамическая теория когерентного рентгеновского излучения, генерируемого пучком релятивистских электронов в составной мишени “аморфный слой–вакуум–периодическая слоистая среда”. Периодическая слоистая среда состоит из периодически расположенных трех различных слоев, при этом слои расположены под произвольным углом к поверхности мишени. Когерентное рентгеновское излучение выходит через заднюю поверхность мишени, то есть излучение в периодической слоистой среде происходит в геометрии рассеяния Лауэ. В рамках двухволнового приближения динамической теории дифракции получены и исследованы выражения, описывающие спектрально-угловые плотности параметрического рентгеновского излучения в периодической слоистой среде и дифрагированного переходного излучения.
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2025;(8):98–108
98–108
ЭЛЕКТРОННОЕ СТРОЕНИЕ И СУБСТРУКТУРА ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ НАНОСЛОЕВ ОЛОВА НА КРЕМНИИ ПО ДАННЫМ СИНХРОТРОННЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ
Аннотация
В работе изучена специфика локального атомного окружения, физико-химического состояния и электронного строения пяти монослоев олова на тонком буферном слое кремния, сформированных методом молекулярно-лучевой эпитаксии, их трансформация in situ в результате термического отжига. С использованием излучения трех синхротронных источников применялись экспериментальные методы высокого разрешения, чувствительные к поверхности: спектроскопия ближней тонкой структуры краев рентгеновского поглощения и рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, а также компьютерное моделирование. Показана возможность диффузии атомов кислорода от олова к буферному слою кремния при хранении образцов в лабораторных условиях. Показано, что при формировании нанослоев Sn/Si методом молекулярно-лучевой эпитаксии не происходит межатомного взаимодействия на гетерофазных границах структуры образца, вплоть до возможного формирования твердого раствора олово–кремний, и, как следствие, заметных искажений электронного спектра. Однако высокотемпературный сверхвысоковакуумный отжиг вызывает фазовую перестройку поверхностных слоев, что сопровождается перераспределением атомов кислорода от атомов олова к атомам кремния эпитаксиального буфера с формированием тонкого слоя SiO2. В пределах тонкого переходного слоя олово–кремний в изученных образцах могут образовываться сложные связи между атомами олова, кислорода и углерода вдоль его границ.
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2025;(8):109–124
109–124


