Processing of Silicon Carbide Plates with Bonded Diamond Tools

Cover Page

Cite item

Full Text

Open Access Open Access
Restricted Access Access granted
Restricted Access Subscription Access

Abstract

The article discusses the results obtained in the process of preliminary rough, fine and finish grinding of polycrystalline and monocrystalline silicon carbide plates using new types of bonded diamond tools on an organic binder and a new composition of cutting fluid.

About the authors

V. S. Kondratenko

MIREA – Russian Technological University

Email: kondratenko@mirea.ru
Moscow, Russia

A. A. Isaev

MIREA – Russian Technological University

Moscow, Russia

V. V. Kadomkin

MIREA – Russian Technological University

Moscow, Russia

G. M. Biryukov

MIREA – Russian Technological University

Moscow, Russia

I. I. Borodynkin

MIREA – Russian Technological University

Moscow, Russia

A. D. Tambovsky

JSC LZOS

Email: tambovskii@lzos.ru
Moscow Region, Lytkarino, Russia

References

  1. Zlomanov V.P . Silicon Carbide [ Karbid kremniya ]. Scientific and Educational Portal “Great Russian Encyclopedia”. https://bigenc.ru/c/karbid-kremniia-05308c [Published on June 26, 2023] (in Russia).
  2. Ivenin S.V . Processing of Monocrystalline Silicon Carbide Plates // [Obrabotka plastin monokristallicheskogo karbida kremniya]. Bulletin of Mordovian University. 2015. Vol. 25. No. 4. Pp. 37–47. https://doi.org/ 10.15507/0236-2910.025.201504.037
  3. Trofimov A.A . Modes of grinding and polishing of sapphire and silicon carbide wafers containing microwave monolithic integrated circuits // [Rezhimy shlifovaniya i polirovaniya plastin iz sapfira i karbida kremniya, soderzhashchikh SVCH monolitnye integral’nye skhemy]. Applied Physics. 2017. No. 3. Pp. 89–95 (in Russia).
  4. Alekhin S.S . Technological Assurance of Quality and Limitation of Crack Formation during Abrasive Processing of Thin Silicon Carbide Plates with Diamond Pastes // [Tekhnologicheskoe obespechenie kachestva i ogranichenie treshchinoobrazovaniya pri abrazivnoj obrabotke almaznymi pastami tonkikh plastin iz karbida kremniya]. Dissertation of the Candidate of Technical Sciences. Bryansk, 2023. http://www.tu-bryansk.ru/mainpage/dissertatsii/alekhin-sergey-sergeevich (in Russia).
  5. Kondratenko V.S . Diamond processing of materials // [Almaznaya obrabotka materialov]. [Monograph. Moscow, “Mechanical Engineering”, 2011]. 191 p. ISBN 978-5-94275-564-5 (in Russia).
  6. Kondratenko V.S., Kobysh A.N. Rogov A.Yu . Grinding and polishing in a new way // [Shlifovka i polirovka po-novomu]. “RITM”. No. 1. 2015. Moscow. P. 34 –40 (in Russia).
  7. Kondratenko V.S . High-Efficiency Materials-Processing Technology Based on New Types of Diamond Tools // [Vysokoehffektivnye tekhnologii obrabotki materialov na baze novykh tipov almaznogo instrumenta]. Glass and Ceramics. 2018. No. 5. Pp. 39–43 (in Russia).
  8. Kondratenko V.S . High-Efficiency Materials-Processing Technology Based on New Types of Diamond Tools. “Glass and Ceramics”. Vol. 75. Issue 5-6. September 2018. Pp. 202–205.
  9. Kondratenko V.S., Kadomkin V.V . Calculation of thermal processes in a bonded diamond tool when grinding glass and other materials // [Raschet teplovykh processov v svyazannom almaznom instrumente pri shlifovanii stekla i drugikh materialov]. “Glass and ceramics”. № 11. 2018. Moscow. Pp. 13–21 (in Russia).
  10. Kondratenko V.S., Kadomkin V.V . Calculation of Thermal Processes in a Bonded Diamond Tool During Grinding of Glass and Other Materials. Glass and Ceramics. 2019. Vol. 75. Nos. 11-12. Pp. 428–434.
  11. Kondratenko V.S., Kudzh S.A., Kadomkin V.V., and Vashchenko O.A . Influence of thermophysical processes in bonded diamond tool on processing parameters of optical materials // [Vliyanie teplofizicheskikh processov v svyazannom almaznom instrumente na parametry obrabotki opticheskikh materialov]. Optical Journal. 2020. Vol. 87. No. 5. Pp. 81–88 (in Russia).
  12. Kondratenko V.S., Kudzh S.A., Kadomkin V.V., Vashchenko O.A . Influence of Thermophysical Processes in Bonded Diamond Tools on the Processing Parameters of Optical Materials. Journal of Optical Technology. 2020. Vol. 87. No. 5. Pp. 313–317.
  13. Kondratenko V.S., Kobysh A.N., Kislyachenko V.G., and Tambovsky A.D . Optimization of the Lubricating and Cooling Fluid Composition for Grinding Various Materials with a Bonded Diamond Tool / Proceedings of the International Scientific and Technical Conference “Promising Materials and Technologies (PMT-2024)”. Vol. 1. Moscow, RTU MIREA, 2024, pp. 548–552 (in Russia).
  14. Kondratenko V.S., Gindin P.D., Burlya D.A., Kobysh A.N., Rogov A.Yu. Kondratenko E.V., Sakunenko Yu.I., Bobkov A.V . New Diamond Tool for Processing Optical Materials [Novyj almaznyj instrument dlya obrabotki opticheskikh materialov]. Optical Journal. 2017. Vol. 84. No. 6. Pp. 54–57 (in Russia).
  15. Kondratenko V.S., Isaev A.A., Kobysh A.N., Biryukov G.M., Borodynkin I.I., Tambovsky A.D., and Semyonov A.P . Development of a bonded diamond tool for processing silicon carbide / Collection of reports of the International Scientific and Technical Conference “Optical Technologies, Materials, and Systems (Optotech-2024)”. Moscow, RTU MIREA, 2024, pp. 158–163 (in Russia).

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
Download

Copyright (c) 2025 Russian Academy of Sciences

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».