Specific features of the formation of oblique texture in aluminum nitride films


Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат Ашық рұқсат
Рұқсат жабық Рұқсат берілді
Рұқсат жабық Тек жазылушылар үшін

Аннотация

Aluminum nitride films with oblique orientation of the texture axis are produced. Modifications of crystal structure depending on the deposition rate are studied. Two effects of the film growth related to the relation of the deposition rate and surface mobility of substance are analyzed.

Авторлар туралы

V. Luzanov

Kotel’nikov Institute of Radio Engineering and Electronics (Fryazino Branch)

Хат алмасуға жауапты Автор.
Email: valery@luzanov.ru
Ресей, Fryazino, Moscow oblast, 141190

Қосымша файлдар

Қосымша файлдар
Әрекет
1. JATS XML

© Pleiades Publishing, Inc., 2017