Formation of Films of Tungsten and its Oxides in a High-Frequency Capacitive Discharge in a D2-O2 Mixture


Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

A technique for tungsten-film deposition on different substrates in asymmetrical high-frequency (1.76 MHz) capacitive discharge in a D2−6.5 mol % O2 mixture under a total pressure of 15 Pa and at 60–130°C is considered. A circular W strip near the upper inner edge of a cylindrical hollow cathode with a radius of 4.2 cm and a height of 10 cm is the source of W particles. The smooth transition from sputtering of the inner surface to deposition occurs at a distance of about 4 cm from the upper boundary of the open part of the cathode. W, Mo, ZrO2, Si, and Cu substrates are placed in the lower closed end (bottom) and on the inner lateral cathode surface. At the upper cathode edge the sputtering yield is (4–5) × 10−2 at/ion. The mass rate of W deposition on the cathode bottom does not depend on the substrate type and is 40 μg/(cm2 h). The peculiarities of the composition, morphology, and structure of W films obtained on the lateral surface and bottom of the hollow cathode are discussed.

Об авторах

A. Gorodetsky

Frumkin Institute of Physical Chemistry and Electrochemistry

Автор, ответственный за переписку.
Email: aegorodetsky@mail.ru
Россия, Moscow, 119071

R. Zalavutdinov

Frumkin Institute of Physical Chemistry and Electrochemistry

Email: aegorodetsky@mail.ru
Россия, Moscow, 119071

V. Bukhovets

Frumkin Institute of Physical Chemistry and Electrochemistry

Email: aegorodetsky@mail.ru
Россия, Moscow, 119071

A. Markin

Frumkin Institute of Physical Chemistry and Electrochemistry

Email: aegorodetsky@mail.ru
Россия, Moscow, 119071

A. Zakharov

Frumkin Institute of Physical Chemistry and Electrochemistry

Email: aegorodetsky@mail.ru
Россия, Moscow, 119071

V. Zolotarevsky

Frumkin Institute of Physical Chemistry and Electrochemistry

Email: aegorodetsky@mail.ru
Россия, Moscow, 119071

V. Voytitsky

Frumkin Institute of Physical Chemistry and Electrochemistry

Email: aegorodetsky@mail.ru
Россия, Moscow, 119071

T. Rybkina

Frumkin Institute of Physical Chemistry and Electrochemistry

Email: aegorodetsky@mail.ru
Россия, Moscow, 119071

L. Kazansky

Frumkin Institute of Physical Chemistry and Electrochemistry

Email: aegorodetsky@mail.ru
Россия, Moscow, 119071

I. Arkhipushkin

Frumkin Institute of Physical Chemistry and Electrochemistry

Email: aegorodetsky@mail.ru
Россия, Moscow, 119071

E. Mukhin

Ioffe Physical-Technical Institute

Email: aegorodetsky@mail.ru
Россия, St. Petersburg, 194021

A. Razdobarin

Ioffe Physical-Technical Institute

Email: aegorodetsky@mail.ru
Россия, St. Petersburg, 194021

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Pleiades Publishing, Ltd., 2017

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».