A Comment on the Computer Simulation Program SRIM


Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат Ашық рұқсат
Рұқсат жабық Рұқсат берілді
Рұқсат жабық Тек жазылушылар үшін

Аннотация

The computer simulation program SRIM, unlike other well-known programs (MARLOWE, TRIM.SP, etc.), predicts non-zero values of the sputtering yield in the case of glancing ion bombardment of smooth amorphous targets. To understand the reason for this and other differences, simulation of the sputtering of a germanium target bombarded with 0.1–10-keV ions is carried out using the OKSANA program. It is shown that SRIM insufficiently correctly simulates the initial stage of the sputtering process.

Авторлар туралы

V. Shulga

Skobeltsyn Institute for Nuclear Physics, Moscow State University

Хат алмасуға жауапты Автор.
Email: vish008@yandex.ru
Ресей, Moscow, 119991

Қосымша файлдар

Қосымша файлдар
Әрекет
1. JATS XML

© Pleiades Publishing, Ltd., 2019