Investigation of secondary-emission signal formation in the low-voltage SEM mode

V. V. Kazmiruk; I. G. Kurganov; N. N. Osipov; A. A. Podkopaev; T. N. Savitskaya

doi:10.1134/S1027451016050086

Investigation of secondary-emission signal formation in the low-voltage SEM mode

Авторлар: Kazmiruk V.V.¹, Kurganov I.G.¹, Osipov N.N.¹, Podkopaev A.A.¹, Savitskaya T.N.¹
Мекемелер:
1. Institute of Microelectronics Technology and High Purity Materials
Шығарылым: Том 10, № 5 (2016)
Беттер: 887-891
Бөлім: Article
URL: https://journals.rcsi.science/1027-4510/article/view/189605
DOI: https://doi.org/10.1134/S1027451016050086
ID: 189605

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат
Рұқсат жабық

Рұқсат берілді
Рұқсат жабық

Тек жазылушылар үшін

Аннотация
Авторлар туралы
Әдебиет тізімі
Қосымша файлдар
Статистика

Аннотация

We present the results of studying secondary-emission signal formation in a scanning electron microscope; the signal is generated by the surface microrelief under an accelerating voltage of 0.3–3 kW with the detection of all secondary electrons.