Atomic Layer Deposition of Y2O3 Using Tris(butylcyclopentadienyl)yttrium and Water


Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

In this work, atomic-layer deposition (ALD) of yttrium oxide (Y2O3) was demonstrated using tris(butylcyclopentadienyl)yttrium (Y(CpBut)3) and H2O . Yttrium precursor showed thermal stability and a high reactivity in surface reactions with H2O. In situ monitoring of the deposition process by quartz crystal microbalance (QCM) showed that the growth of oxide is accompanied by the absorption of water into the bulk of the film, which can lead to chemical vapor deposition (CVD) type processes. Reducing amount of dosed water as well as purge time extension during ALD cycling allow to mitigate the CVD effects. The Y2O3 film growth rate 230°C varied depending on the number of cycles and had maximum value of 1.7 Å/cycle. The films obtained at 230°C had a cubic polycrystalline structure with an average density of 96% of the Y2O3 bulk density. The X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) measurements showed a carbon impurity level below the detections limit (~0.2 at %). The O/Y atomic concentration ratio estimated by Rutherford backscattering spectroscopy (RBS) was ~1.58. As deposited Y2O3 films had a refractive index of 1.85 (at 632.8 nm), whereas with protective ALD Al2O3 film, the refractive index was 1.73.

Об авторах

A. Abdulagatov

Dagestan State University

Email: ilmutdina@gmail.com
Россия, Makhachkala, 367000

R. Amashaev

Dagestan State University

Email: ilmutdina@gmail.com
Россия, Makhachkala, 367000

Kr. Ashurbekova

Dagestan State University

Email: ilmutdina@gmail.com
Россия, Makhachkala, 367000

Sh. Ramazanov

Dagestan State University

Email: ilmutdina@gmail.com
Россия, Makhachkala, 367000

D. Palchaev

Dagestan State University

Email: ilmutdina@gmail.com
Россия, Makhachkala, 367000

A. Maksumova

Dagestan State University

Email: ilmutdina@gmail.com
Россия, Makhachkala, 367000

M. Rabadanov

Dagestan State University

Email: ilmutdina@gmail.com
Россия, Makhachkala, 367000

I. Abdulagatov

Dagestan State University

Автор, ответственный за переписку.
Email: ilmutdina@gmail.com
Россия, Makhachkala, 367000

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML

© Pleiades Publishing, Ltd., 2019

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».