Мақаланы E-mail арқылы жіберу Backscattered electron imaging of micro- and nanostructures: 5. SEM signal formation model
- Авторлар: Novikov Y.A.1,2
-
Мекемелер:
- A.M. Prokhorov General Physics Institute
- National Research Nuclear University MEPhI (Moscow Engineering Physics Institute)
- Шығарылым: Том 10, № 5 (2016)
- Беттер: 892-905
- Бөлім: Article
- URL: https://journals.rcsi.science/1027-4510/article/view/189609
- DOI: https://doi.org/10.1134/S1027451016050116
- ID: 189609
Дәйексөз келтіру
Ашық рұқсат
Рұқсат берілді
Тек жазылушылар үшін
Аннотация
A semiempirical model describing how images are formed in a scanning electron microscope operating in the backscattered electron collection mode is discussed. The model involves four imaging mechanisms. The model and the experiment are compared for grooves in silicon with rectangular and trapezoidal relief profiles.
Негізгі сөздер
Авторлар туралы
Yu. Novikov
A.M. Prokhorov General Physics Institute; National Research Nuclear University MEPhI (Moscow Engineering Physics Institute)
Хат алмасуға жауапты Автор.
Email: nya@kapella.gpi.ru
Ресей, Moscow, 119991; Moscow, 115409
Қосымша файлдар
