Creation of Calibrated Samples of a Measure with Relief Elements Less Than 100 nm

Yu. R. Efimenkov; Yu. M. Zolotarevskii; V. L. Lyaskovskii; K. N. Min’kov; A. A. Samoilenko

doi:10.1007/s11018-016-0872-x

Creation of Calibrated Samples of a Measure with Relief Elements Less Than 100 nm

Авторлар: Efimenkov Y.R.¹, Zolotarevskii Y.M.¹, Lyaskovskii V.L.¹, Min’kov K.N.¹, Samoilenko A.A.¹
Мекемелер:
1. All-Russia Research Institute of Optophysical Measurements (VNIIOFI)
Шығарылым: Том 58, № 11 (2016)
Беттер: 1214-1215
Бөлім: Article
URL: https://journals.rcsi.science/0543-1972/article/view/245551
DOI: https://doi.org/10.1007/s11018-016-0872-x
ID: 245551

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат
Рұқсат жабық

Рұқсат берілді
Рұқсат жабық

Тек жазылушылар үшін

Аннотация
Авторлар туралы
Әдебиет тізімі
Қосымша файлдар
Статистика

Аннотация

Results from the development of an experimental sample of a measure with relief elements less than 100 nm for use in calibration of optical, near-field, and electron microscopes based on a metallized electronic resist (coating) are presented.