Отправить статью по E-mail Магнетронное осаждение пленок гексаферрита бария из мишени стехиометрического состава
- Авторы: Лузанов В.А.1
-
Учреждения:
- Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
- Выпуск: Том 68, № 9 (2023)
- Страницы: 921-923
- Раздел: К 70-ЛЕТИЮ ИРЭ ИМ. В.А. КОТЕЛЬНИКОВА РАН
- URL: https://journals.rcsi.science/0033-8494/article/view/138433
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0033849423090176
- EDN: https://elibrary.ru/RGKOWT
- ID: 138433
Цитировать
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Только для подписчиков
Аннотация
Предложена методика получения пленок гексаферрита бария на сапфире с ориентацией (0001) методом высокочастотного магнетронного распыления стехиометрической мишени BaFe12O19 с последующим отжигом. Проведенные рентгеноструктурный анализ и рамановская спектрометрия показали возможность кристаллизации ориентированных пленок без использования коррекции состава мишени.
Ключевые слова
Об авторах
В. А. Лузанов
Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Автор, ответственный за переписку.
Email: valery@luzanov.ru
Российская Федерация, 141190, Московской обл., Фрязино, пл. Введенского, 1
Список литературы
- Guillissen J., Van Rysselberghe, Pierre J. // J. Electrochem. Soc. 1931. V. 59. № 1. P. 95.
- Cai Z., Chen Z., Goodrich T.L. et al. // J. Cryst. Growth. 2007. V. 307. P. 321.
- Kostishin V.G., Mironovich A.Yu., Shakirzyanov R.I. et al. // J. Magn. Magn. Mat. 2021. V. 527. P. 167786.
- Ohodnicki P.R., Goh K.Y., McHenry M.E. et al. // J. Appl. Phys. 2008. V. 103. № 7. P. 07E514.
- Yoon S.D., Vittoria C. // J. Appl. Phys. 2004. V. 96. P. 2131.
- Xiaozhi Zh., Zhenxing Y., Siqin M., Lixin Y. // J. Appl. Phys. 2014. V. 116. P. 243909.
- Abuzir A.R., Salman S.A. // Results Phys. 2018. V. 8. P. 587.
- Kreisel J., Pignard S., Vincent H., Sénateur J.P. // J. Appl. Phys. Lett. 1998. V. 73. № 9. P. 1194.
Дополнительные файлы
