Эффект Франца–Келдыша в структурах кремний–сверхтонкий (3.7 нм) окисел–поликремний
- Авторы: Белорусов Д.А.1, Гольдман Е.И.1, Чучева Г.В.1
-
Учреждения:
- Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
- Выпуск: Том 68, № 9 (2023)
- Страницы: 917-920
- Раздел: К 70-ЛЕТИЮ ИРЭ ИМ. В.А. КОТЕЛЬНИКОВА РАН
- URL: https://journals.rcsi.science/0033-8494/article/view/138429
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0033849423090036
- EDN: https://elibrary.ru/SBHPRG
- ID: 138429
Цитировать
Аннотация
Обнаружено проявление эффекта Франца–Келдыша при освещении непрямым дневным светом структур Al–n+-Si:P–SiО2–(100) n-Si со сверхтонким (3.7 нм) окислом. Показано, что использование подсветки даже при малых полевых напряжениях (до 3 В) приводит к росту туннельного тока через окисел по сравнению с током в условиях темноты на три порядка. Построена модель влияния излучения на процесс туннелирования электронов через сверхтонкий изолирующий слой. Сначала в результате эффекта Франца–Келдыша происходит захват кванта излучения электроном и туннелирование данного носителя заряда через барьер на более высоком, по сравнению с темнотой, уровне. После попадания носителя заряда в полупроводник его энергии хватает для нескольких актов рождения пар электрон–дырка в ходе ударной ионизации кремния.
Ключевые слова
Об авторах
Д. А. Белорусов
Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Email: gvc@ms.ire.rssi.ru
Российская Федерация, 141190, Московской обл., Фрязино, пл. Введенского, 1
Е. И. Гольдман
Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Email: gvc@ms.ire.rssi.ru
Российская Федерация, 141190, Московской обл., Фрязино, пл. Введенского, 1
Г. В. Чучева
Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Автор, ответственный за переписку.
Email: gvc@ms.ire.rssi.ru
Российская Федерация, 141190, Московской обл., Фрязино, пл. Введенского, 1
Список литературы
- Zwanenburg F.A., Dzurak A.S., Simmons M.Y. et al. // Rev. Mod. Phys. 2013. V. 85. № 3. P. 961.
- Векслер М.И., Грехов И.В., Шулекин А.Ф. // ФТП. 2000. Т. 34. № 7. С. 803.
- Ждан А.Г., Чучева Г.В., Гольдман Е.И. // ФТП. 2006. Т. 40. № 2. С. 195.
- Гольдман Е.И., Левашов С.А., Чучева Г.В. // ФТП. 2019. Т. 53. № 4. С. 481.
- Белорусов Д.А., Гольдман Е.И., Нарышкина В.Г., Чучева Г.В. // ФТП. 2021. Т. 55. № 1. С. 24.
- Гольдман Е.И., Левашова А.И., Левашов С.А., Чучева Г.В. // ФТП. 2015. Т. 49. № 4. С. 483.
- Гольдман Е.И., Левашов С.А., Нарышкина В.Г., Чучева Г.В. // ФТП. 2017. Т. 51. № 9. С. 1185.
- Гольдман Е.И., Кухарская Н.Ф., Левашов С.А., Чучева Г.В. // ФТП. 2019. Т. 53. № 1. С. 46.
- Franz W. // Z. Naturforschung. 1958. V. 13a. № 2. P. 484.
- Келдыш Л.В. // ЖЭТФ. 1957. Т. 33. № 4. С. 994.
- Жёлтиков А.М. // Успехи физ. наук. 2017. Т. 187. № 11. С. 1169.
- Гольдман Е.И., Ждан А.Г., Кухарская Н.Ф., Черняев М.В. // ФТП. 2008. Т. 42. № 1. С. 94.
- Гольдман Е.И., Чучева Г.В., Шушарин И.А. // ФТП. 2022. Т. 56. № 3. С. 328.