Automated interference tools of the All-Russian Research Institute for Optical and Physical Measurements
- Авторы: Vishnyakov G.N.1, Levin G.G.1, Minaev V.L.1
- 
							Учреждения: 
							- All-Russian Research Institute for Optical and Physical Measurements
 
- Выпуск: Том 53, № 5 (2017)
- Страницы: 530-536
- Раздел: Interference Systems and Devices
- URL: https://journals.rcsi.science/8756-6990/article/view/212259
- DOI: https://doi.org/10.3103/S8756699017050132
- ID: 212259
Цитировать
Аннотация
A review of advanced equipment for automated interference measurements developed at the All-Russian Research Institute for Optical and Physical Measurements is given. Three types of interference microscopes based on the Linnik, Twyman–Green, and Fizeau interferometers with the use of the phase stepping method are presented.
Ключевые слова
Об авторах
G. Vishnyakov
All-Russian Research Institute for Optical and Physical Measurements
							Автор, ответственный за переписку.
							Email: vish@vniiofi.ru
				                					                																			                												                	Россия, 							ul. Ozernaya 46, Moscow, 119361						
G. Levin
All-Russian Research Institute for Optical and Physical Measurements
														Email: vish@vniiofi.ru
				                					                																			                												                	Россия, 							ul. Ozernaya 46, Moscow, 119361						
V. Minaev
All-Russian Research Institute for Optical and Physical Measurements
														Email: vish@vniiofi.ru
				                					                																			                												                	Россия, 							ul. Ozernaya 46, Moscow, 119361						
Дополнительные файлы
 
				
			 
						 
					 
						 
						 
						 
									 
  
  
  
  
  Отправить статью по E-mail
			Отправить статью по E-mail  Открытый доступ
		                                Открытый доступ Доступ предоставлен
						Доступ предоставлен Только для подписчиков
		                                		                                        Только для подписчиков
		                                					