Electromigration in solid-state integrated structures with through holes

封面

如何引用文章

全文:

详细

The paper studies the resistance to electromigration of structures with through holes not filled with tungsten and the effect of filling the holes with tungsten on the electromigration process. It is shown that with a decrease in the hole diameter in structures with holes not filled with tungsten, the mean failure time decreases due to poor aluminum coating and an increase in the ratio of the hole width to its length, and in the case of filling the holes with tungsten, the mean failure time does not depend on the diameter. It is shown that during electromigration, the resistance of the through hole changes due to the effect of high-density current, which causes silicon migration along aluminum with its subsequent deposition along the tungsten-aluminum interface.

作者简介

Natalia Cherkesova

Kabardino-Balkarian State University named after Kh.M. Berbekov.

编辑信件的主要联系方式.
Email: natasha07_2002@mail.ru
Candidate of Physical and Mathematical Sciences, Associate Professor, Associate Professor of the Department of Electronics and Digital Information Technologies of the Institute of Electronics, Robotics and Artificial Intelligence. 俄罗斯联邦

Hasan Mustafaev

Kabardino-Balkarian State University named after Kh.M. Berbekov.

Email: zoone@mail.ru
Doctor of Technical Sciences, Professor of the Department of Electronics and Digital Information Technologies of the Institute of Electronics, Robotics and Artificial Intelligence. 俄罗斯联邦

Arslan Mustafayev

Dagestan State University of National Economy.

Email: arslan_mustafaev@hotmail.com
Doctor of Technical Sciences, Professor. 俄罗斯联邦

Denis Zdravomyslov

Kabardino-Balkarian State University named after Kh.M. Berbekov.

Email: natasha07_2002@mail.ru
2nd year postgraduate student of the Department of Electronic Component Base of Micro-, Nano-Electronics and Quantum Devices 俄罗斯联邦

补充文件

附件文件
动作
1. JATS XML
下载

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».