Электромиграция в твердотельных интегральных структурах со сквозными отверстиями

Обложка
  • Авторы: Черкесова Н.В.1, Мустафаев Г.А.2, Мустафаев А.Г.3, Здравомыслов Д.М.4
  • Учреждения:
    1. Кабардино-Балкарского государственного университета им. Х.М. Бербекова.
    2. Кабардино-Балкарского государственного университета им. Х. М. Бербекова.
    3. ГАОУ ВО "Дагестанский государственный университет народного хозяйства".
    4. Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова.
  • Выпуск: Том 15, № 3 (2025)
  • Страницы: 26-30
  • Раздел: Физика
  • URL: https://journals.rcsi.science/2221-7789/article/view/359224
  • ID: 359224

Цитировать

Полный текст

Аннотация

В статье исследуется устойчивость к электромиграции структур со сквозными отверстиями, не заполненными вольфрамом, и влияния на процесс электромиграции заполнения отверстий вольфрамом. Показано, что с уменьшением диаметра отверстия в структурах отверстиями, незаполненными вольфрамом, величина среднего времени отказа снижается вследствие плохого покрытия алюминием и возрастания отношения ширины отверстия к его длине, а в случае заполнения отверстий вольфрамом величина среднего времени отказа от диаметра не зависит. Установлено, что при электромиграции сопротивления сквозного отверстия изменяется из-за действия тока высокой плотности, который вызывает миграцию кремния через алюминий с последующим его осаждением по границе раздела вольфрам-алюминий.

Об авторах

Наталья Васильевна Черкесова

Кабардино-Балкарского государственного университета им. Х.М. Бербекова.

Автор, ответственный за переписку.
Email: natasha07_2002@mail.ru
Кандидат физико-математических наук, доцент, доцент кафедры электроники и цифровых информационных технологий института электроники, робототехники и искусственного интеллекта. Россия

Гасан Абакарович Мустафаев

Кабардино-Балкарского государственного университета им. Х. М. Бербекова.

Email: zoone@mail.ru
Доктор технических наук, профессор кафедры электроники и цифровых информационных технологий института электроники, робототехники и искусственного интеллекта Россия

Арслан Гасанович Мустафаев

ГАОУ ВО "Дагестанский государственный университет народного хозяйства".

Email: arslan_mustafaev@hotmail.com
Доктор технических наук профессор. Россия

Денис Михайлович Здравомыслов

Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова.

Email: natasha07_2002@mail.ru
Аспирант 2-го года обучения кафедры электронной компонентной базы микро-, наноэлектроники и квантовых устройств. Россия

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».