Электромиграция в твердотельных интегральных структурах со сквозными отверстиями
- Авторы: Черкесова Н.В.1, Мустафаев Г.А.2, Мустафаев А.Г.3, Здравомыслов Д.М.4
-
Учреждения:
- Кабардино-Балкарского государственного университета им. Х.М. Бербекова.
- Кабардино-Балкарского государственного университета им. Х. М. Бербекова.
- ГАОУ ВО "Дагестанский государственный университет народного хозяйства".
- Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова.
- Выпуск: Том 15, № 3 (2025)
- Страницы: 26-30
- Раздел: Физика
- URL: https://journals.rcsi.science/2221-7789/article/view/359224
- ID: 359224
Цитировать
Полный текст
Аннотация
В статье исследуется устойчивость к электромиграции структур со сквозными отверстиями, не заполненными вольфрамом, и влияния на процесс электромиграции заполнения отверстий вольфрамом. Показано, что с уменьшением диаметра отверстия в структурах отверстиями, незаполненными вольфрамом, величина среднего времени отказа снижается вследствие плохого покрытия алюминием и возрастания отношения ширины отверстия к его длине, а в случае заполнения отверстий вольфрамом величина среднего времени отказа от диаметра не зависит. Установлено, что при электромиграции сопротивления сквозного отверстия изменяется из-за действия тока высокой плотности, который вызывает миграцию кремния через алюминий с последующим его осаждением по границе раздела вольфрам-алюминий.
Об авторах
Наталья Васильевна Черкесова
Кабардино-Балкарского государственного университета им. Х.М. Бербекова.
Автор, ответственный за переписку.
Email: natasha07_2002@mail.ru
Кандидат физико-математических наук, доцент, доцент кафедры электроники и цифровых информационных технологий института электроники, робототехники и искусственного интеллекта. Россия
Гасан Абакарович Мустафаев
Кабардино-Балкарского государственного университета им. Х. М. Бербекова.
Email: zoone@mail.ru
Доктор технических наук, профессор кафедры электроники и цифровых информационных технологий института электроники, робототехники и искусственного интеллекта Россия
Арслан Гасанович Мустафаев
ГАОУ ВО "Дагестанский государственный университет народного хозяйства".
Email: arslan_mustafaev@hotmail.com
Доктор технических наук профессор. Россия
Денис Михайлович Здравомыслов
Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова.
Email: natasha07_2002@mail.ru
Аспирант 2-го года обучения кафедры электронной компонентной базы микро-, наноэлектроники и квантовых устройств. Россия
Дополнительные файлы
