Influence of Cathode Structure and Configuration on Complex Nitride Coatings
- Авторы: Tabakov V.P.1, Shirmanov N.A.1, Sizov S.V.1, Chikhranov A.V.1
-
Учреждения:
- Ul’yanovsk State Technical University
- Выпуск: Том 37, № 12 (2017)
- Страницы: 1048-1051
- Раздел: Article
- URL: https://journals.rcsi.science/1068-798X/article/view/227196
- DOI: https://doi.org/10.3103/S1068798X17120176
- ID: 227196
Цитировать
Аннотация
The production of complex (multielement) nitride coatings on the basis of different cathode structure and configuration is considered. The coatings obtained by means of one-piece and composite cathodes have different properties. This difference is smaller for multielement coatings.
Ключевые слова
Об авторах
V. Tabakov
Ul’yanovsk State Technical University
Email: chihranov@mail.ru
Россия, Ul’yanovsk
N. Shirmanov
Ul’yanovsk State Technical University
Email: chihranov@mail.ru
Россия, Ul’yanovsk
S. Sizov
Ul’yanovsk State Technical University
Email: chihranov@mail.ru
Россия, Ul’yanovsk
A. Chikhranov
Ul’yanovsk State Technical University
Автор, ответственный за переписку.
Email: chihranov@mail.ru
Россия, Ul’yanovsk
Дополнительные файлы
