Информация об авторе
Shustin, E. G.
Выпуск | Раздел | Название | Файл |
Том 62, № 5 (2017) | Review | Plasma technologies for material processing in nanoelectronics: Problems and solutions | |
Том 62, № 7 (2017) | Nanoelectronics | Single-domain nickel films for production of graphene |