Автор туралы ақпарат
Shustin, E.
Шығарылым | Бөлім | Атауы | Файл |
Том 62, № 5 (2017) | Review | Plasma technologies for material processing in nanoelectronics: Problems and solutions | |
Том 62, № 7 (2017) | Nanoelectronics | Single-domain nickel films for production of graphene |