Russian Microelectronics
ISSN 1063-7397 (Print)
ISSN 1608-3415 (Online)
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Informaçao sobre o Autor
Informaçao sobre o Autor
Solov’ev, Yu. V.
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Volume 47, Nº 6 (2018)
Article
Etching of SiC in Low Power Inductively-Coupled Plasma
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