Отправить статью по E-mail In-process monitoring of shape accuracy of flat surfaces of optical and microelectronic components in polishing
- Авторы: Filatov Y.D.1, Sidorko V.I.1, Kovalev S.V.1, Filativ O.Y.1, Monteil G.2
-
Учреждения:
- Bakul Institute for Superhard Materials
- École Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques
- Выпуск: Том 39, № 4 (2017)
- Страницы: 282-287
- Раздел: Investigation of Machining Processes
- URL: https://journals.rcsi.science/1063-4576/article/view/185935
- DOI: https://doi.org/10.3103/S1063457617040086
- ID: 185935
Цитировать
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Только для подписчиков
Аннотация
The in-process monitoring of surface shape of optical surfaces directly in the course of polishing is demonstrated to be accomplished through the confocal chromatic imaging technology. A linear relationship has been found between the deviation from square waveform and the variation of the workpiece surface shape.
Ключевые слова
Об авторах
Yu. Filatov
Bakul Institute for Superhard Materials
Автор, ответственный за переписку.
Email: filatov@ism.kiev.ua
Украина, vul. Avtozavods’ka 2, Kiev, 04074
V. Sidorko
Bakul Institute for Superhard Materials
Email: filatov@ism.kiev.ua
Украина, vul. Avtozavods’ka 2, Kiev, 04074
S. Kovalev
Bakul Institute for Superhard Materials
Email: filatov@ism.kiev.ua
Украина, vul. Avtozavods’ka 2, Kiev, 04074
O. Filativ
Bakul Institute for Superhard Materials
Email: filatov@ism.kiev.ua
Украина, vul. Avtozavods’ka 2, Kiev, 04074
G. Monteil
École Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques
Email: filatov@ism.kiev.ua
Франция, 26, rue de l’épitaphe CS 51813, Besançon, 25030
Дополнительные файлы
