An Acousto-Electric Nanobiosensor

A. E. Melnikov; E. S. Soldatov; I. E. Kuznetsova; V. V. Kolesov; V. I. Anisimkin; V. V. Kashin

doi:10.3103/S1062873819010167

An Acousto-Electric Nanobiosensor

Авторлар: Melnikov A.E.¹, Soldatov E.S.¹^,2, Kuznetsova I.E.³, Kolesov V.V.³, Anisimkin V.I.³, Kashin V.V.³
Мекемелер:
1. Faculty of Physics, Moscow State University
2. Center for Quantum Technologies, Moscow State University
3. Institute of Radioengineering and Electronics, Russian Academy of Sciences
Шығарылым: Том 83, № 1 (2019)
Беттер: 52-54
Бөлім: Article
URL: https://journals.rcsi.science/1062-8738/article/view/187137
DOI: https://doi.org/10.3103/S1062873819010167
ID: 187137

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат
Рұқсат жабық

Рұқсат берілді
Рұқсат жабық

Тек жазылушылар үшін

Аннотация
Авторлар туралы
Әдебиет тізімі
Қосымша файлдар
Статистика

Аннотация

A technology is developed that uses two multiscale structures on a single crystal piezoelectric substrate of lithium niobate. A system of counter-pin electrodes for an acoustic delay line operating in the 2–3 MHz range is formed via photolithography. The system is combined with nanotransducers 60–80 nm in size, produced by means of negative electron-beam nanolithography.