An Acousto-Electric Nanobiosensor

A. E. Melnikov; E. S. Soldatov; I. E. Kuznetsova; V. V. Kolesov; V. I. Anisimkin; V. V. Kashin

doi:10.3103/S1062873819010167

An Acousto-Electric Nanobiosensor

Авторы: Melnikov A.E.¹, Soldatov E.S.¹^,2, Kuznetsova I.E.³, Kolesov V.V.³, Anisimkin V.I.³, Kashin V.V.³
Учреждения:
1. Faculty of Physics, Moscow State University
2. Center for Quantum Technologies, Moscow State University
3. Institute of Radioengineering and Electronics, Russian Academy of Sciences
Выпуск: Том 83, № 1 (2019)
Страницы: 52-54
Раздел: Article
URL: https://journals.rcsi.science/1062-8738/article/view/187137
DOI: https://doi.org/10.3103/S1062873819010167
ID: 187137

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ
Доступ закрыт

Доступ предоставлен
Доступ закрыт

Только для подписчиков

Аннотация
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

A technology is developed that uses two multiscale structures on a single crystal piezoelectric substrate of lithium niobate. A system of counter-pin electrodes for an acoustic delay line operating in the 2–3 MHz range is formed via photolithography. The system is combined with nanotransducers 60–80 nm in size, produced by means of negative electron-beam nanolithography.