Modern Scanning Electron Microscopy. 2. Test objects for Scanning Electron Microscopy
- Autores: Novikov Y.1
-
Afiliações:
- Prokhorov General Physics Institute of the RAS
- Edição: Nº 12 (2023)
- Páginas: 129-146
- Seção: Articles
- URL: https://journals.rcsi.science/1028-0960/article/view/232233
- DOI: https://doi.org/10.31857/S102809602312018X
- EDN: https://elibrary.ru/ABROKC
- ID: 232233
Citar
Resumo
The review of the test objects intended for calibration of scanning electron microscopes and researches to secondary electronic emission of a relief surface of a solid state in scanning electron microscope is carried out. The test objects are divided on two parameters – kind of a relief and structure of a relief. By the form of relief the test objects are divided on single, pitch and periodic. On a structure of a relief of the test objects are divided into objects with a rectangular structure and objects with a trapezoid structure with the large and small corners of an inclination of lateral walls. The examples of such the test objects are given. Their characteristics and methods of certification of parameters are described. The advantages and lacks of the test objects are considered. Is shown, that the best characteristics have the tests objects representing pitch structures consisting of trapezoid trenches with the large corners of an inclination of lateral walls. The test objects are created in monosilicon with of a surface orientation by {100} by method liquid anisotropic etching of silicon. These test objects allow defining all characteristics scanning electron microscopes, influencing on measurement of the linear sizes of relief structures used in microelectronics and nanotechnology. With their help it is possible to carry out correlation measurements, which raise accuracy of calibration scanning electron microscopes up to ten times.
Sobre autores
Yu. Novikov
Prokhorov General Physics Institute of the RAS
Autor responsável pela correspondência
Email: nya@kapella.gpi.ru
Russia, 119991, Moscow
Bibliografia
- Reimer L. Scanning electron microscopy: physics of image formation and microanalysis / Springer-Verlag. Berlin, Heidelberg, New York, 1998.
- Практическая растровая электронная микроскопия / Под ред. Дж. Гоулдстейна и Х. Яковица. Пер. с англ. М.: Мир, 1978. 656 с.
- Гоулдстейн Дж., Ньюбери Д., Эчлин П., Джой Д., Фиори Ч., Лифшин Э. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ / Пер. с англ. М.: Мир. 1984. 303 с.
- Микроанализ и растровая электронная микроскопия / Под ред. Ф. Мориса и др. Пер. с фр. М.: Металлургия, 1985. 392 с.
- Криштал М.М., Ясников И.С., Полунин В.И., Филатов А.М., Ульяненков А.Г. Сканирующая электронная микроскопия и рентгеноспектральный микроанализ в примерах практического применения. М.: Техносфера, 2009. 208 с.
- Растровая электронная микроскопия для нанотехнологий. Методы и применение / Под ред. У. Жу и Ж.Л. Уанга. Пер. с англ. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013. 582 с.
- Hatsuzawa T., Toyoda K., Tanimura Y. // Rev. Sci. Instrum. 1990. V. 61. № 3. P. 975.
- Новиков Ю.А., Раков А.В. // Измерительная техника. 1999. № 1. С. 14.
- Postek M.T., Vladar A.E. Critical Dimension Metrology and the Scanning Electron Microscope // Handbook of Silicon Semiconductor Metrology / Ed. A.C. Diebold. Marcel Dekker Inc. New York–Basel, 2001. P. 295.
- Postek M.T. // Proc. SPIE. 2002. V. 4608. P. 84.
- Постек М. // Вестник технического регулирования. 2007. № 7. С. 8.
- Тодуа П.А., Быков В.А., Волк Ч.П., Горнев Е.С., Желкобаев Ж., Зыкин Л.М., Ишанов А.Б., Календин В.В., Новиков Ю.А., Озерин Ю.В., Плотников Ю.И., Прохоров А.М., Раков А.В., Саунин С.А., Черняков В.Н. // Микросистемная техника. 2004. № 3. С. 25.
- Бронштейн И.М., Фрайман Б.С. Вторичная электронная эмиссия. М.: Наука, 1969. 407 с.
- Шульман А.З., Фридрихов С.А. Вторично-эмиссионные методы исследования твердого тела. М.: Наука, 1977. 551 с.
- Новиков Ю.А. // Поверхность. Рентген., синхротр. нейтрон. исслед. 2023. № 5. С. 80.
- Гавриленко В., Новиков Ю., Раков А., Тодуа П. // Наноиндустрия. 2009. № 4. С. 36.
- Gavrilenko V.P., Novikov Yu.A., Rakov A.V., Todua P.A. // Proc. SPIE. 2009. V. 7405. P. 740504. https://www.doi.org/10.1117/12.826164
- Gavrilenko V.P., Kalnov V.A., Novikov Yu.A., Orlikovsky A.A., Rakov A.V., Todua P.A., Valiev K.A., Zhikharev E.N. // Proc. SPIE. 2009. V. 7272. P. 727227. https://www.doi.org/10.1117/12.814062
- Gavrilenko V.P., Novikov Yu.A., Rakov A.V., Todua P.A., Volk Ch.P. // Proc. SPIE. 2009. V. 7272. P. 72720Z. https://www.doi.org/10.1117/12.813514
- Дицман С.А., Злобин В.А., Невзорова Л.Н., Фаворская Л.П. // Известия АН СССР. Серия физическая. 1982. Т. 46. № 12. С. 2388.
- Novikov Yu.A., Gavrilenko V.P., Ozerin Yu.V., Rakov A.V., Todua P.A. // Proc. SPIE. 2007. V. 6648. P. 66480R. https://www.doi.org/10.1117/12.733134
- Novikov Yu.A., Ozerin Yu.V., Rakov A.V., Todua P.A. // Measurement Sci. Technol. 2007. V. 18. P. 367. https://www.doi.org/10.1088/0957-0233/18/2/S07
- Гавриленко В.П., Новиков Ю.А., Раков А.В., Тодуа П.А. // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2008. Т. 74. С. 31.
- Новиков Ю.А., Раков А.В., Тодуа П.А. // Измерительная техника. 2009. № 2. С. 22.
- Новиков Ю.А., Пешехонов С.В., Стрижков И.Б. // Труды ИОФАН. 1995. Т. 49. С. 20.
- Novikov Yu.A., Gavrilenko V.P., Rakov A.V., Todua P.A. // Proc. SPIE. 2008. V. 7042. P. 704208. https://www.doi.org/10.1117/12.794834
- Novikov Yu.A. // J. Surf. Invest. X-ray, Synchrotron Neutron Tech. 2019. V. 13. № 6. P. 1284. https://www.doi.org/10.1134/S1027451019060454
- Новиков Ю.А., Пешехонов С.В. // Труды ИОФ АН. 1995. Т. 49. С. 107.
- Novikov Yu.A. // J. Surf. Invest. X-ray, Synchrotron Neutron Tech. 2020. V. 14. № 1. P. 105. https://www.doi.org/10.1134/S1027451020010127
- Bosse H., Mirande W., Frase C.G., Bruck H.-J., Lehnigk S. Comparison of linewidth measurements on COG mask // 17 Europ. Mask Conf. on Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components (EMC-2000). Munich. 2000. P. 111.
- Волк Ч.П., Горнев Е.С., Новиков Ю.А., Озерин Ю.В., Плотников Ю.И., Прохоров А.М., Раков А.В. // Микроэлектроника. 2002. Т. 31. № 4. С. 243.
- Nakayama Y., Okazaki S., Sugimoto A. // J. Vacuum Sci. Technol. B. 1988. V. 6. P. 1930.
- Gavrilenko V.P., Novikov Yu.A., Rakov A.V., Todua P.A. // Proc. SPIE. 2010. V. 7718. P. 77180Y. https://www.doi.org/10.1117/12.853892
- Новиков Ю.А., Раков А.В. // Труды ИОФ АН. 1998. Т. 55. С. 3.
- Новиков Ю.А., Прохоров А.М., Раков А.В. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1993. № 3. С. 22.
- Новиков Ю.А., Раков А.В. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 1999. № 8. С. 24.
- Novikov Yu.A. // J. Surf. Invest. X-ray, Synchrotron Neutron Tech. 2022. V. 16. № 5. P. 806. https://www.doi.org/10.1134/S1027451022050147
- Волк Ч.П., Горнев Е.С., Новиков Ю.А., Плотников Ю.И., Раков А.В., Тодуа П.А. // Труды ИОФ АН. 2006. Т. 62. С. 77.
- Gavrilenko V.P., Novikov Yu.A., Rakov A.V., Todua P.A. // Proc. SPIE. 2008. V. 7042. P. 70420C. https://www.doi.org/10.1117/12.794891
- Новиков Ю.А. // Микроэлектроника. 2014. Т. 43. № 5. С. 373. https://www.doi.org/10.7868/S0544126914050068
- Postek M.T. // Scanning Microscopy. 1989. V. 3. № 4. P. 1087.
- Geist J., Belzer B., Miller M.L., Roitman P. // J. Res. National Institute of Standards and Technology. 1992. V. 97. № 2. P. 267.
- Новиков Ю.А., Пешехонов С.В., Раков А.В., Симонов А.Н., Стрижков И.Б., Цыбульский В.В. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1993. № 5. С. 49.
- Novikov Yu.A. // J. Surf. Invest. X-ray, Synchrotron Neutron Tech. 2022. V. 16. № 5. P. 797. https://www.doi.org/10.1134/S1027451022050135
- Новиков Ю.А. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2015. № 5. С. 78. https://www.doi.org/10.7868/S0207352815050091
- Новиков Ю.А. // Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед. 2016. № 9. С. 12. https://www.doi.org/10.7868/S0207352816090110
- Gavrilenko V.P., Novikov Yu.A., Rakov A.V., Todua P.A. // Proc. SPIE. 2009. V. 7405. P. 740507. https://www.doi.org/10.1117/12.826190
- Häßler-Grohne W., Bosse H. // Measurement Sci. Technol. 1998. V. 9. P. 1120.
- Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии. Пер. с англ. М.: Мир, 1985. 496 с.
- Новиков Ю.А. // Поверхность. Рентген., синхротр, и нейтрон. исслед. 2017. № 11. С. 77. https://www.doi.org/10.7868/S0207352817110105
- Новиков Ю.А. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2018. № 12. С. 86. https://www.doi.org/10.1134/S0207352818120144
- Данилова М.А., Митюхляев В.Б., Новиков Ю.А., Озерин Ю.В., Раков А.В., Тодуа П.А. // Измерительная техника. 2008. № 8. С. 20.
- Данилова М.А., Митюхляев В.Б., Новиков Ю.А., Озерин Ю.В., Раков А.В., Тодуа П.А. // Измерительная техника. 2008. № 9. С. 49.
- Gavrilenko V.P., Filippov M.N., Novikov Yu.A., Rakov A.V., Todua P.A. // Proc. SPIE. 2007. V. 6648. P. 66480T. https://www.doi.org/10.1117/12.733566
- Волк Ч.П., Новиков Ю.А., Раков А.В., Тодуа П.А. // Измерительная техника. 2008. № 6. С. 18.
- Novikov Yu.A. // J. Surf. Invest. X-ray, Synchrotron Neutron Tech. 2017. V. 11. № 4. P. 890. https://www.doi.org/10.1134/S1027451017040255
- Новиков Ю.А., Раков А.В., Тодуа П.А. // Микроэлектроника. 2008. Т. 37. № 6. С. 448.
- Новиков Ю.А., Озерин Ю.В., Плотников Ю.И., Раков А.В., Тодуа П.А. // Труды ИОФ АН. 2006. Т. 62. С. 36.
- Dai G., Pohlenz F., Danzebrink H.-U., Xu M., Hasche K., Wilkening G. // Rev. Sci. Instrum. 2004. V. 75. № 4. P. 962. https://www.doi.org/10.1063/1.1651638
- Frase C.G., Häßler-Grohne W., Dai G., Bosse H., Novikov Yu.A., Rakov A.V. // Measurement Sci. Technol. 2007. V. 18. P. 439. https://www.doi.org/10.1088/0957-0233/18/2/S16
- Новиков Ю.А. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2021. № 5. С. 102. https://www.doi.org/10.31857/S1028096021040117
- Новиков Ю.А. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2021. № 9. С. 100. https://www.doi.org/10.31857/S1028096021090132
- Новиков Ю.А. // Микроэлектроника. 2015. Т. 44. № 4. С. 306. https://www.doi.org/10.7868/S0544126915030072
- Волк Ч.П., Горнев Е.С., Календин В.В., Митюхляев В.Б., Новиков Ю.А., Озерин Ю.В., Раков А.В., Bosse H., Frase C.G. Международные сличения результатов измерений периодических мер в микро- и нанометровом диапазонах на растровых электронных микроскопах // 12 Российский симпозиум по растровой электронной микроскопии. Черноголовка. “Богородский печатник”. 2001. Тезисы докладов. С. 128.
- Гавриленко В.П., Лесновский Е.Н., Новиков Ю.А., Раков А.В., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. // Изв. РАН. Сер. физ. 2009. Т. 73. № 4. С. 454.
- Gavrilenko V.P., Filippov M.N., Novikov Yu.A., Rakov A.V., Todua P.A. // Proc. SPIE. 2009. V. 7378. P. 737812. https://www.doi.org/10.1117/12.821760
- Larionov Yu.V., Novikov Yu.A. // Proc. SPIE. 2012. V. 7800. P. 78000W. https://www.doi.org/10.1117/12.2016850
- Новиков Ю.А. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2019. № 8. С. 64. https://www.doi.org/10.1134/S0207352819080122
- Новиков Ю.А. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2016. № 2. С. 66. https://www.doi.org/10.7868/S0207352816020086
- Новиков Ю.А. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2015. № 10. С. 59. https://www.doi.org/10.7868/S0207352815100170
- Новиков Ю.А., Раков А.В., Филиппов М.Н. // Известия РАН. Сер. физ. 1998. Т. 62. № 3. С. 543.
- Новиков Ю.А. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2019. № 10. С. 94. https://www.doi.org/10.1134/S0207352819090105
- Новиков Ю.А., Раков А.В., Стеколин И.Ю. // Известия РАН. Сер. физ. 1993. Т. 57. № 8. С. 79.
- Идье В., Драйард Д., Джеймс Ф., Рус М., Садуле Б. Статистические методы в экспериментальной физике / Пер. с англ. Под ред. А.А. Тяпкина. М.: Атомиздат, 1976. 335 с.
- Новиков Ю.А. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2020. № 6. С. 68. https://www.doi.org/10.31857/S1028096020050106
- Novikov Yu.A. // J. Surf. Invest. X-ray, Synchrotron Neutron Tech. 2020. V. 14. № 5. P. 965. https://www.doi.org/10.1134/S1027451020050134
- Новиков Ю.А., Раков А.В., Стеколин И.Ю. // Измерительная техника. 1996. № 12. С. 26.
- Новиков Ю.А., Стеколин И.Ю. // Труды ИОФ АН. 1995. Т. 49. С. 41.
- Novikov Yu.A. // J. Surf. Invest. X-ray, Synchrotron Neutron Tech. 2020. V. 14. № 6. P. 1387. https://www.doi.org/10.1134/S1027451020060397
- Волк Ч.П., Горнев Е.С., Новиков Ю.А., Озерин Ю.В., Плотников Ю.И., Раков А.В. // Микроэлектроника. 2004. Т. 33. № 6. С. 419.
- Новиков Ю.А. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2013. № 11. С. 70. https://www.doi.org/10.7868/S0207352813110140
- Новиков Ю.А. // Микроэлектроника. 2014. Т. 43. № 4. С. 263. https://www.doi.org/10.7868/S0544126914040073
- Новиков Ю.А. // Микроэлектроника. 2014. Т. 43. № 6. С. 456. https://www.doi.org/10.7868/S0544126914060076