Estimation of internal charging potential of dielectrics coated with conductive film
- Authors: Orlikovskaya N.G.1, Zykova E.Y.1, Tatarintsev A.A.1
-
Affiliations:
- Lomonosov Moscow State University
- Issue: No 9 (2024)
- Pages: 50-57
- Section: Articles
- URL: https://journals.rcsi.science/1028-0960/article/view/276022
- DOI: https://doi.org/10.31857/S1028096024090063
- EDN: https://elibrary.ru/EHYZEO
- ID: 276022
Cite item
Abstract
The charging potentials of quartz glass coated with a conductive metallic film was evaluated. Estimations were made based on the measured dependence of the intensity of the cathodoluminescent signal on the energy of the incident electron beam. Calculations have shown that when quartz glass coated with a 14 nm thick Au film is irradiated, the charging potential can reach 1.7 kV at an electron energy of 10 keV and 2.7 kV at 15 keV. An estimation of the electric field generating under the surface of the grounded film has shown that the field strength does not exceed 4 × 107 V/cm.
Full Text

About the authors
N. G. Orlikovskaya
Lomonosov Moscow State University
Author for correspondence.
Email: orlikovskayang@gmail.com
Russian Federation, Moscow, 119991
E. Yu. Zykova
Lomonosov Moscow State University
Email: orlikovskayang@gmail.com
Russian Federation, Moscow, 119991
A. A. Tatarintsev
Lomonosov Moscow State University
Email: orlikovskayang@gmail.com
Russian Federation, Moscow, 119991
References
- Петров В.И. // Успехи физических наук. 1996. Т. 166. С. 859.
- Melchinger A., Hofmann S. // J. Appl. Phys. 1995. V. 78. P. 6224. https://doi.org/10.1063/1.360569
- Cazaux J. // J. Appl. Phys. 2001. V. 89. P. 8265. https://doi.org/10.1063/1.1368867
- Cornet N., Goeuriot D., Guerret-Piécourt C., Juv́ D., Tŕheux D., Touzin M., Fitting H.J. // J. Appl. Phys. 2008. V. 103. Р. 064110. https://doi.org/10.1063/1.2890427
- Askri B., Raouadi K., Renoud R., Yangui B. // J. Electrostat. 2009. V. 67. P. 695. https://doi.org/10.1016/j.elstat.2009.03.006
- Рау Э.И., Татаринцев А.А. // Физика твердого тела. 2021. Т. 63. С. 483. https://doi.org/10.21883/FTT.2021.04.50713.246
- Cazaux J. // J. Appl. Phys. 1986. V. 59. P. 1418. https://doi.org/10.1063/1.336493
- Cazaux J. // Scanning. 2004. V. 26. P. 181. https://doi.org/10.1002/sca.4950260406
- Meyza X., Goeuriot D., Guerret-Piécourt C., Tréheux D., Fitting H.J. // J. Appl. Phys. 2003. V. 94. P. 5384. https://doi.org/10.1063/1.1613807
- Touzin M., Goeuriot D., Guerret-Piécourt C., Juv́ D., Tŕheux D., Fitting H.J. // J. Appl. Phys. 2006. V. 99. Р. 114110. https://doi.org/10.1063/1.2201851
- Татаринцев А.А., Зыкова Е.Ю., Иешкин А.Е., Орликовская Н.Г., Рау Э.И. // Физика твердого тела. 2023. Т. 65. С. 1288. https://doi.org/10.21883/ftt.2023.08.56145.79
- Ohya K., Inai K., Kuwada H., Hayashi T., Saito M. // Surf. Coatings Technol. 2008. V. 202. P. 5310. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2008.06.008
- Cazaux J. // J. Electron Spectr. Relat. Phenomena. 2010. V. 176. P. 58. https://doi.org/10.1016/j.elspec.2009.06.004
- Орехова К.Н., Серов Ю.М., Дементьев П.А., Иванова Е.В., Кравец В.А., Усачева В.П., Заморянская М.В. // Журнал технической физики. 2019. Т. 89. С. 1412. https://doi.org/10.21883/jtf.2019.09.48068.43-19
- Рау Э.И., Татаринцев А.А., Зыкова Е.Ю., Зайцев С.В. // Журнал технической физики. 2019. Т. 89. С. 1276. https://doi.org/10.21883/jtf.2019.08.47904.264-18
- Зайцев С.В., Купреенко С.Ю., Лукьянов А.Е., Рау Э.И., Татаринцев А.А., Хайдаров А.А. // Изв. РАН. Сер. физ. 2016. Т. 80. С. 1623. https://doi.org/10.7868/s0367676516120206
- Fitting H.J. // J. Electron Spectr. Relat. Phenomena. 2004. V. 136. P. 265. https://doi.org/10.1016/j.elspec.2004.04.003
- Phillips M.R. // Microchim. Acta. 2006. V. 155. P. 51. https://doi.org/10.1007/s00604-006-0506-0
- Кузнецова Я.В. Особенности катодолюминесценции полупроводниковых структур на основе AlInGaN: Дис. … канд. физ.-мат. наук: 01.04.10. Санкт-Петербург: ФТИ, 2013.
- Гареева А.Р., Петров В.И., Чижов Г.А. // Вестн. МГУ. Сер. 3. 1989. Т. 30. С. 23.
- Михеев Н.Н., Петров В.И., Степович М.А. // Изв. АНаук СССР. Сер. физ. 1991. Т. 55. С. 1474.
- August H., Wernisch J. // Phys. Stat. Sol. 1989. V. 114. P. 629.
- Hunger H.-J., Kuchler L. // Phys. Stat. Sol. 1979. V. 56. P. 45.
- Drouin D., Couture A.R., Joly D., Tastet X., Aimez V., Gauvin R. // Scanning. 2007. V. 29. P. 92. https://doi.org/10.1002/sca.20000
- Рау Э.И., Евстафьева Е.Н., Зайцев С.И., Князев М.А., Свинцов А.А., Татаринцев А.А. // Микроэлектроника. 2013. Т. 42. С. 116. https://doi.org/10.7868/s0544126913020105
- Kotera M., Suga H. // J. Appl. Phys. 1988. V. 63. P. 261. https://doi.org/10.1063/1.340285
- Сканави Г.И. Физика диэлектриков (область сильных полей). М.: ГИФМЛ, 1958. 907 с.
- Франц В. Пробой диэлектриков. М.: ИЛ, 1961. 207 с.
Supplementary files
