Determination of the element distribution in films deposited using the plasma focus facility by Rutherford backscattering


Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

The C, Cu and W element profiles in films deposited using a plasma focus facility are studied by the Rutherford backscattering of 2-MeV He+ ions. The films are deposited onto glass substrates in Ar plasmaforming gas. The element profiles are found to depend significantly on the kinetic energy of particles. The penetration depth of particles with the velocity ~105 m/s is about 1.5 μm. The corresponding element profiles showing the distribution of elements over the thickness of the glass are non-linear. For each element, the maximum layer depth is observed under the glass surface. The formation of Cu, W and C layers under the glass surface and their overlapping is a feature of films deposited using the plasma focus facility. Such an arrangement of layers evidences the significant difference between this method of film deposition and conventional techniques at low rates of atom deposition, as well as diffusion-based methods. The obtained films are found to have dielectric properties.

Об авторах

V. Kolokoltsev

Baikov Institute of Metallurgy and Materials Science

Email: subzerno@gmail.com
Россия, Moscow, 119991

V. Kulikauskas

Skobeltsyn Institute of Nuclear Physics

Email: subzerno@gmail.com
Россия, Moscow, 119991

G. Bondarenko

National Research University “Higher School of Economics”

Email: subzerno@gmail.com
Россия, Moscow, 101000

A. Eriskin

National Research University “Higher School of Economics”; Lebedev Physical Institute

Автор, ответственный за переписку.
Email: subzerno@gmail.com
Россия, Moscow, 101000; Moscow, 119991

V. Nikulin

Lebedev Physical Institute; National Research Nuclear University “MEPhI”

Email: subzerno@gmail.com
Россия, Moscow, 119991; Moscow, 115409

P. Silin

Lebedev Physical Institute

Email: subzerno@gmail.com
Россия, Moscow, 119991

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML

© Pleiades Publishing, Ltd., 2017

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».