Tungsten-oxide thin films for a high-temperature semiconductor hydrogen detector based on a 6H-SiC crystal


Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

We demonstrate the possibility of fabricating high-efficiency semiconductor hydrogen detectors based on tangsten-oxide thin films deposited onto silicon-carbide crystals by reactive pulsed-laser deposition. The obtained WO3/SiC structures ensure a noticeable voltage shift ΔU on the reverse branch of the IV characteristics without commonly used catalyst layers of platinum-group metals. The ΔU value reached 2.1 V at a detected hydrogen concentration of 0.2% in air at 350°C. The response times to hydrogen inlet and recovery of the WO3/SiC structure after hydrogen outlet are found to be much shorter than those for the Pt/WO3/SiC structure. The high performances of the fabricated WO3/SiC sensor are due to the layered structure of the orthorhombic phase of tungsten oxide, which consists of loosely packed microcrystalline plates containing nanocrystals smaller than 100 nm.

Об авторах

V. Fominski

National Research Nuclear University “MEPhI” (Moscow Engineering Physics Institute)

Автор, ответственный за переписку.
Email: vyfominskij@mephi.ru
Россия, Moscow, 115409

S. Grigoriev

Moscow State Technological University “STANKIN”

Email: vyfominskij@mephi.ru
Россия, Moscow, 127055

M. Demin

Immanuel Kant Baltic Federal University

Email: vyfominskij@mephi.ru
Россия, Kaliningrad, 236016

V. Zuev

National Research Nuclear University “MEPhI” (Moscow Engineering Physics Institute)

Email: vyfominskij@mephi.ru
Россия, Moscow, 115409

R. Romanov

National Research Nuclear University “MEPhI” (Moscow Engineering Physics Institute)

Email: vyfominskij@mephi.ru
Россия, Moscow, 115409

M. Volosova

Moscow State Technological University “STANKIN”

Email: vyfominskij@mephi.ru
Россия, Moscow, 127055

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML

© Pleiades Publishing, Ltd., 2016

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».