Preparation of Single-Crystal Zinc Oxide Films on a Metal Sublayer

V. A. Luzanov; Лузанов В. А.

doi:10.31857/S0033849423050108

Получение монокристаллических пленок оксида цинка на металлическом подслое

Авторы: Лузанов В.А.¹
Учреждения:
1. Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Выпуск: Том 68, № 5 (2023)
Страницы: 470-471
Раздел: НАНОЭЛЕКТРОНИКА
URL: https://journals.rcsi.science/0033-8494/article/view/138244
DOI: https://doi.org/10.31857/S0033849423050108
EDN: https://elibrary.ru/UHVBOK
ID: 138244

Цитировать

Полный текст

Аннотация
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

Для увеличения эффективности работы устройств на основе пьезоэлектрических преобразователей из оксида цинка предложено использовать монокристаллические слои платины в качестве нижнего электрода. Получены эпитаксиальные монокристаллические пленки оксида цинка на металле. Показано, что данное сочетание слоев позволяет минимизировать рассогласование по параметрам решетки пленки и подложки, что существенно повышает качество полученной пьезоэлектрической пленки.

Ключевые слова

piezoelectric transducer, zinc oxide, epitaxial single-crystal film

Об авторах

В. А. Лузанов

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: valery@luzanov.ru
Российская Федерация, 141190, Московской обл., Фрязино,, пл. Введенского, 1

Список литературы

Лузанов В.А., Алексеев С.Г., Ползикова Н.И. // РЭ. 2018. Т. 63. № 9. С. 1015.
Morales C., Leinen D., del Campo A. et al. // J. Alloys and Compounds. 2021. V. 884. Article No. 161056.
Franklin J.B., Zou B., Petrov P. et al. // J. Material Chemistry. 2021. V. 21. № 22. P. 8178.
Steiger P., Zhang J., Harrabi K. et al. // Thin Solid Films. 2018. V. 645. P. 417.