Preparation of Single-Crystal Zinc Oxide Films on a Metal Sublayer

V. A. Luzanov; Лузанов В. А.

doi:10.31857/S0033849423050108

Preparation of Single-Crystal Zinc Oxide Films on a Metal Sublayer

Авторлар: Luzanov V.¹
Мекемелер:
1. Kotelnikov Institute of Radioengineering and Electronics, Fryazino Branch
Шығарылым: Том 68, № 5 (2023)
Беттер: 470-471
Бөлім: НАНОЭЛЕКТРОНИКА
URL: https://journals.rcsi.science/0033-8494/article/view/138244
DOI: https://doi.org/10.31857/S0033849423050108
EDN: https://elibrary.ru/UHVBOK
ID: 138244

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат
Рұқсат жабық

Рұқсат берілді
Рұқсат жабық

Тек жазылушылар үшін

Аннотация
Авторлар туралы
Әдебиет тізімі
Қосымша файлдар
Статистика

Аннотация

To increase the efficiency of devices based on piezoelectric transducers made of zinc oxide, it is proposed to use single-crystal layers of platinum as the bottom electrode. Epitaxial single-crystal films of zinc oxide on metal have been obtained. It is shown that this combination of layers makes it possible to minimizethe mismatch in the lattice parameters of the film and substrate, which significantly improves the quality of the obtained piezoelectric film.

Негізгі сөздер

piezoelectric transducer, zinc oxide, epitaxial single-crystal film

Авторлар туралы

V. Luzanov

Kotelnikov Institute of Radioengineering and Electronics, Fryazino Branch

Хат алмасуға жауапты Автор.
Email: valery@luzanov.ru
Fryazino, Moscow oblast, 141190 Russia

Әдебиет тізімі

Лузанов В.А., Алексеев С.Г., Ползикова Н.И. // РЭ. 2018. Т. 63. № 9. С. 1015.
Morales C., Leinen D., del Campo A. et al. // J. Alloys and Compounds. 2021. V. 884. Article No. 161056.
Franklin J.B., Zou B., Petrov P. et al. // J. Material Chemistry. 2021. V. 21. № 22. P. 8178.
Steiger P., Zhang J., Harrabi K. et al. // Thin Solid Films. 2018. V. 645. P. 417.