Аморфные пленки SiCx:H и SiCxNy:H, полученные из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Синтез аморфных пленок гидрогенизированного карбида SiCx:H и карбонитрида SiCxNy:H кремния осуществляли в реакторе с индуктивно-связанной плазмой ВЧ-разряда с использованием паров гексаметилдисилана и дополнительных газов аргона и/или азота. Процесс осаждения проводили при температурах 50–400°С и мощностях плазмы 100–400 Вт. Получены зависимости скорости роста, химического состава и строения пленок, коэффициента пропускания света, показателя преломления и оптической ширины запрещенной зоны от условий синтеза. Методом оптической эмиссионной спектроскопии (ОЭС) проведены in situ исследования состава газовой фазы.

Полный текст

Доступ закрыт

Об авторах

М. Н. Чагин

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Email: marina@niic.nsc.ru
Россия, Новосибирск

Е. Н. Ермакова

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Email: marina@niic.nsc.ru
Россия, Новосибирск

В. Р. Шаяпов

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Email: marina@niic.nsc.ru
Россия, Новосибирск

В. С. Суляева

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Email: marina@niic.nsc.ru
Россия, Новосибирск

Е. А. Максимовский

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Email: marina@niic.nsc.ru
Россия, Новосибирск

И. В. Юшина

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Email: marina@niic.nsc.ru
Россия, Новосибирск

М. Л. Косинова

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: marina@niic.nsc.ru
Россия, Новосибирск

Список литературы

  1. Ermakova E., Kosinova M. // J. Organomet. Chem. 2022. V. 958. P. 122183.
  2. Гильман А.Б., Зиновьев А.В., Кузнецов А.А. // Химия высоких энергий. 2022. Т. 56. № 6. С. 470.
  3. Файнер Н.И., Немкова А.А. // Химия высоких энергий. 2015. Т. 49. № 4. С. 308
  4. Wróbel A.M., Wickramanayaka S., Nakanishi Y., et al. // Diam. Relat. Mater. 1997. V. 6. P. 1081
  5. Wickramanayaka S., Hatanaka Y., Nakanishi Y., Wróbel A.M. // J. Electrochem. Soc. 1994. V. 141. № 10. P. 2910.
  6. Neileth S. Figueroa, J.L. Nachez, F.L. et al. // J. Ceram. Soc. Japan. 2009. V. 117. P. 558
  7. Cho S.H., Choi D.J. // J. Ceram. Soc. Japan. 2009. V. 117. P. 558.
  8. Jun S. Lee, Su B. et al. // Curr. Appl. Phys. 2015. V. 15. P. 1342.
  9. Choi Y.S, Lee J.S., Jin S.B., Han J.G. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2013. V. 46. P. 315501.
  10. Shim C., Jung D. // Jpn. J. Appl. Phys. 2004. V. 43. P. 940.
  11. Klumpp A., Schaber U., Offereins H.L. et al. // Sens. Actuators A Phys., 1994. V. 41. P. 310.
  12. Ito H., Kumakura M., Suzuki T. et al. // Jpn. J. Appl. Phys. 2016. V. 55. P. 06HC01.
  13. Орликовский А.А., Руденко К.В., Аверкин С.Н. // Химия высоких энергий. 2006. Т. 40. № 3. С. 220.
  14. Pearse R.W.B., Gaydon A.G. // The Identification of Molecular Spectra. Hoboken, NY, USA: J. Wiley & Sons, 1963.
  15. Dieke G.H. // The Hydrogen Molecule Wavelength Tables of Gerhard Heinrich Dieke. Ed. Crosswhite H.M. New York, NY, USA: Wiley-InterScience. 1972.
  16. NIST Atomic Spectra Database; NIST Standard Reference. Database 78, Version 5.9. Available online: https://physics.nist.gov/asd
  17. Rumyantsev Yu.M., Chagin M.N., Shayapov V.R. et al. // Glass Phys. Chem. 2018. V. 44. № 3. P. 174.
  18. Chagin M.N., Sulyaeva V.S., Shayapov V.R. et al. // Coatings. 2022. V. 12. P. 80
  19. Tolstoy V.P., Chernyshova I.V., Skryshevsky V.A. // Handbook of Infrared Spectroscopy of Ultrathin Films. Hoboken, NJ, USA: John Wiley & Sons, Inc.: 2003. 739 p.
  20. Bellamy L.J. // The Infrared Spectra of Complex Molecules. London, United Kingdom: Springer, 1975. 433 p.
  21. Launer P.J., Arkles B. Infrared analysis of organosilicon compounds: Spectra-structure correlations. In Silicon Compounds: Silanes & Silicones. Morrisville, PA, USA: Gelest, Inc. 2013.
  22. Stuart B.H. Infrared spectroscopy: fundamentals and applications. John Wiley & Sons Ltd. 2004. 224 p.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать
2. Рис. 1. Эмиссионные спектры ICP-плазмы (P = 400 Вт) смесей ГМДС+Ar (а) и ГМДС+Ar+N2 при F(N2)/[F(N2)+F(Ar)] = 0.5 (б).

Скачать (147KB)
Метаданные
3. Рис. 2. Зависимости интенсивности эмиссии полосы CN (а) и линии Hβ (б) от мощности ВЧ-разряда для смесей ГМДС + Ar (квадраты), ГМДС + Ar + N2 (круги), ГМДС + N2 (треугольники).

Скачать (98KB)
Метаданные
4. Рис. 3. Зависимости интенсивности эмиссии линии Si (а) и полосы C2 (б) от мощности ВЧ-разряда для смесей ГМДС + Ar (квадраты), ГМДС + Ar + N2 (круги), ГМДС + N2 (треугольники).

Скачать (92KB)
Метаданные
5. Рис. 4. Зависимость элементного состава пленок от (а) температуры осаждения, (б) мощности плазмы и (в) содержания азота в исходной газовой смеси ГМДС + Ar + N2.

Скачать (195KB)
Метаданные
6. Рис. 5. Эволюция ИК-спектров пленок SiCx:H при изменении (а) температуры синтеза и (б) мощности плазмы.

Скачать (217KB)
Метаданные

© Российская академия наук, 2024

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».