Исследование процесса плазмохимического осаждения тонких пленок системы (ALxGA1 – x)2O3
- Авторы: Мочалов Л.А.1, Кудряшов М.А.1, Прохоров И.О.1, Вшивцев М.А.1, Кудряшова Ю.П.1, Князев А.В.1
-
Учреждения:
- Университет Лобачевского
- Выпуск: Том 57, № 5 (2023)
- Страницы: 390-395
- Раздел: ПЛАЗМОХИМИЯ
- URL: https://journals.rcsi.science/0023-1193/article/view/140008
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0023119323050066
- EDN: https://elibrary.ru/LPUENY
- ID: 140008
Цитировать
Аннотация
Впервые был исследован процесс получения тонких пленок β-Ga2O3, легированных Al, состава (AlxGa1 – x)2O3 плазмохимическим осаждением из газовой фазы (PECVD). Металлический высокочистый галлий, йодид алюминия (AlI3), а также высокочистый кислород использовали в качестве прекурсоров. Низкотемпературная плазма при пониженном давлении (0.01 Торр) являлась инициатором химических превращений между исходными веществами. Процесс плазмохимического осаждения был исследован методом оптической эмиссионной спектроскопии (ОЭС) в диапазоне 180–1100 нм. Полученные тонкие пленки системы (AlxGa1 – x)2O3 с содержание фазы Al2O3 до 20% были исследованы различными аналитическими методами.
Ключевые слова
Об авторах
Л. А. Мочалов
Университет Лобачевского
Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, 603950, г. Нижний Новгород, пр. Гагарина, 23
М. А. Кудряшов
Университет Лобачевского
Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, 603950, г. Нижний Новгород, пр. Гагарина, 23
И. О. Прохоров
Университет Лобачевского
Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, 603950, г. Нижний Новгород, пр. Гагарина, 23
М. А. Вшивцев
Университет Лобачевского
Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, 603950, г. Нижний Новгород, пр. Гагарина, 23
Ю. П. Кудряшова
Университет Лобачевского
Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, 603950, г. Нижний Новгород, пр. Гагарина, 23
А. В. Князев
Университет Лобачевского
Автор, ответственный за переписку.
Email: mvshivtcev@mail.ru
Россия, 603950, г. Нижний Новгород, пр. Гагарина, 23
Список литературы
- Ahmadi E., Oshima Y. // J. Appl. Phys. 2019. V. 126. № 16. P. 160901.
- Peelaers H., Lyons J.L., Varley J.B., Van de Walle C.G. // APL Mater. 2019. V. 7. № 2. P. 022519.
- Oshima T., Kato Y., Kawano N., Kuramata A., Yamakoshi S., Fujita S., Oishi T., Kasu M. // APEX. 2017. V. 10. № 3. P. 035701.
- Zhang Y., Neal A., Xia Z., Joishi C., Johnson J.M., Zheng Y., Bajaj S., Brenner M., Dorsey D., Chabak K., Jessen G., Hwang J., Mou S., Heremans J.P., Rajan S. // Appl. Phys. Lett. 2018. V. 112. № 17. P. 173502.
- Olivier J. and Poirier R. // Surf. Sci. 1981. V. 105. P. 347.
- Ishizawa N., Miyata T., Minato I., Marumo F., Iwai S. // Acta Crystallogr, B. 1980. V. 36. P. 228.
- Hill V.G., Roy R., Osborn E.F. // J. Am. Ceram. Soc. 1952. V. 35. P. 135.
- Jaromin A.L., Edwards D.D. // J. Am. Ceram. Soc. 2005. V. 88. P. 2573.
- Kaun S.W., Wu F., Speck J.S. // JVST A. 2015. V. 33. P. 041508.
- Horie R. // J. Alloys Compd. 2021. V. 851. P. 156927.
- Lee H., Liu J., Lee C. // IEEE Photon. Technol. Lett. 2018. V. 30. P. 549.
- Wang X., Chen Z., Zhang F., Saito K., Tanaka T., Nishio M., Guo Q. // AIP Advances. 2016. V. 6. P. 015111.
- Zhang F., Saito, K. Tanaka T., Nishio M., Arita M., Guo Q. // Appl. Phys. Lett. 2014. V. 105. P. 162107.
- Bhuiyan A F M A. U., Feng Z., Johnson J.M., Huang H.-L., Sarker J., Zhu M., Karim M.R., Mazumder B., Hwang J., Zhao H. // APL Mater. 2020. V. 8. P. 031104.
- Mochalov L.A., Logunov A.A., Kudryashov M.A. // Journal of Physics: Conference Series, 2021. V. 1967. № 1. P. 012037.
- Mochalov L., Logunov A., Gogova D., Letnianchik A., Vorotyntsev V. // Optical and Quantum Electronics. 2020. V. 52. P. 510.
- Mochalov L., Logunov A., Kudryashov M., Prokhorov I., Sazanova T., Yunin P., Pryakhina V., Vorotuntsev I., Malyshev V., Polyakov A., Pearton S.J. // J. Solid State Sci. Technol. 2021. V. 10. P. 073002.
- Logunov A., Mochalov L., Gogova D., Vorotyntsev V. // International Conference on Transparent Optical Networks. 2019.
- Mochalov L., Logunov A., Vorotyntsev V. // Sep. Purif. Technol. 2021. V. 258. P. 118001.
- Mochalov L., Logunov A., Kitnis A., Gogova D., Vorotyntsev V. // Sep. Purif. Technol. 2020. V. 238. P. 116446.