Исследование функции распределения электронов по скоростям в слабоионизированной ВЧ-плазме

Cover Page

Cite item

Full Text

Open Access Open Access
Restricted Access Access granted
Restricted Access Subscription Access

Abstract

Одной из наиболее важных характеристик низкотемпературной плазмы является функция распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ) или же по скоростям. В работе рассмотрено влияние электромагнитного поля на значения функции распределения электронов по скоростям (ФРЭС) при давлении от 13.3 до 133 Па для напряженностей электрического поля от -3000 до 3000 В/м в высокочастотном разряде со степенью ионизации 10−4−10−6. Показано, что на низких частотах ВЧ-электромагнитного поля (0.44–1.76 МГц) и с уменьшением частоты соударений до 5 × 107 Гц, при увеличении напряженности по модулю до 3000 В/м отклонение ФРЭС от ФРЭС Максвелла составляет до 35%. Это оказывает существенное влияние на коэффициенты диффузии и подвижности, разница в которых может составлять до 25% в рассмотренном диапазоне параметров.

Full Text

Restricted Access

About the authors

А. Ю. Шемахин

Казанский (Приволжский) федеральный университет

Author for correspondence.
Email: shemakhin@gmail.com
Russian Federation, 420111, Респ. Татарстан, Казань, ул. Кремлевская, 18

References

  1. Bogaerts A. et al. // Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy. 2002. V. 57. № 4. С. 609–658.
  2. Samukawa S. et al. // Journal of Physics D: Applied Physics. 2012. V. 45. №. 25. P. 253001.
  3. Chu P.K., Lu X.P. (ed.). Low temperature plasma technology: methods and applications. CRC press, 2013. 494 р.
  4. Adamovich I. et al. // Journal of Physics D: Applied Physics. 2017. V. 50. № 32. P. 323001.
  5. Adamovich I. et al. // Journal of Physics D: Applied Physics. 2022. V. 55. № 37. P. 373001.
  6. Абдуллин И.Ш., Желтухин В.С., Кашапов Н.Ф. Высокочастотная плазменно-струйная обработка материалов при пониженных давлениях. Теория и практика применения. Казань: Изд-во Казанского государственного университета, 2000.
  7. Абдуллин И.Ш., Желтухин В.С., Абуталипова Л.Н., Красина И.В. Высокочастотная плазменная обработка в динамическом вакууме капиллярно-пористых материалов: теория и практика применения. Казань: Изд-во Казан. ун-та, 2004.
  8. Абдуллин И.Ш., Желтухин В.С., Сагбиев И.Р. Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления. Казань: Изд-во Казан. гос. технол. ун-та, 2007.
  9. Абдуллин И.Ш. и др. // Химия высоких энергий. 2012. Т. 46. №. 4. С. 319–323.
  10. Гинзбург В. Л. Распространение электромагнитных волн в плазме. Москва: Наука, 1967.

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
Download
2. Fig. 1. Dependence of collision frequency [Hz] on pressure [Pa].

Download (90KB)
Indexing metadata
3. Fig. 2. Electron velocity distribution function in relative units at vc = 108 Hz and f = 13.56 MHz.

Download (276KB)
Indexing metadata
4. Fig. 3. Electron velocity distribution function in relative units at vc = 5 × 107 Hz and f = 1.76 MHz.

Download (275KB)
Indexing metadata
5. Fig. 4. Electron velocity distribution function in relative units at vc = 109 Hz and f = 13.56 MHz.

Download (253KB)
Indexing metadata

Copyright (c) 2024 Russian Academy of Sciences

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».