Атомно-слоевое осаждение алюминий-молибденовых оксидных пленок с использованием триметилалюминия, оксотетрахлорида молибдена и воды - PDF (Русский)
© А.М. Максумова, И.С. Бодалёв, С.И. Сулейманов, Н.М.-Р. Алиханов, И.М. Абдулагатов, М.Х. Рабаданов, А.И. Абдулагатов, 2023

