Атомно-слоевое осаждение алюминий-молибденовых оксидных пленок с использованием триметилалюминия, оксотетрахлорида молибдена и воды - PDF (Русский)


© А.М. Максумова, И.С. Бодалёв, С.И. Сулейманов, Н.М.-Р. Алиханов, И.М. Абдулагатов, М.Х. Рабаданов, А.И. Абдулагатов, 2023

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).