Short-Range Order in Amorphous and Crystalline Ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2


Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

The microstructures of amorphous and polycrystalline ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 films are studied by X-ray spectroscopy and ellipsometry. EXAFS spectra demonstrate that the amorphous film consists of an “incompletely mixed” solid solution of metallic oxides HfO2 and ZrO2. After rapid thermal annealing, the mixed Hf0.5Zr0.5O2 oxide films have a more ordered polycrystalline structure, and individual Hf and Zr monoxide islands are formed in the films. These islands are several nanometers in size and have a structure that is similar to the monoclinic structure of HfO2 and ZrO2. The presence of the HfO2 and ZrO2 phases in the Hf0.5Zr0.5O2 films is also detected by ellipsometry.

Об авторах

S. Erenburg

Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch; Institute of Nuclear Physics, Siberian Branch

Автор, ответственный за переписку.
Email: simon@niic.nsc.ru
Россия, Novosibirsk, 630090; Novosibirsk, 630090

S. Trubina

Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch

Email: simon@niic.nsc.ru
Россия, Novosibirsk, 630090

K. Kvashnina

ESRF; HZDR

Email: simon@niic.nsc.ru
Франция, Grenoble, 38043; Dresden, 01314

V. Kruchinin

Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch

Email: simon@niic.nsc.ru
Россия, Novosibirsk, 630090

V. Gritsenko

Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch; Novosibirsk State University; Novosibirsk State Technical University

Email: simon@niic.nsc.ru
Россия, Novosibirsk, 630090; Novosibirsk, 630090; Novosibirsk, 630073

A. Chernikova

Moscow Institute of Physics and Technology

Email: simon@niic.nsc.ru
Россия, Dolgoprudnyi, Moscow oblast, 141700

A. Markeev

Moscow Institute of Physics and Technology

Email: simon@niic.nsc.ru
Россия, Dolgoprudnyi, Moscow oblast, 141700

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML

© Pleiades Publishing, Inc., 2018

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».