Отправить статью по E-mail IR Spectroscopy and Raman Spectroscopy for Controlling and Investigating Thin-Film Coatings
- Авторы: Vinogradov E.A.1
-
Учреждения:
- Institute of Spectroscopy
- Выпуск: Том 82, № 8 (2018)
- Страницы: 993-997
- Раздел: Proceedings of the XII International Scientific School-Seminar “Fundamental Research and Innovation: Nanooptics, Photonics, and Coherent Spectroscopy”
- URL: https://journals.rcsi.science/1062-8738/article/view/185952
- DOI: https://doi.org/10.3103/S1062873818080427
- ID: 185952
Цитировать
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Только для подписчиков
Аннотация
Vibrational spectroscopy is used to characterize inorganic solid, superhard, and anticorrosive thin-film coatings prepared via magnetron sputtering and surface chemical reactions. The most detailed and correct information on the parameters of the dielectric function of coatings can be obtained from the frequency angular spectra of phonon polaritons. Optical characteristics of coatings are considered using examples of SiOxNy and SiOx films grown on steel and silicon substrates.
Об авторах
E. Vinogradov
Institute of Spectroscopy
Автор, ответственный за переписку.
Email: evinogr@isan.troitsk.ru
Россия, Troitsk, Moscow oblast, 108840
Дополнительные файлы
