Изменение локальной атомной структуры сплава Fe–Ni в результате облучения ионами аргона

В настоящей работе проведена модификация поверхности сплава Н18 ионами аргона в импульсно-периодическом режиме. Методами электронной спектроскопии in situ проведено исследование изменений химического состава и локальной атомной структуры, вызванных ионным воздействием на поверхность. Химический состав был определен с помощью электронной оже-спектроскопии с использованием профилирования ионами аргона. Анализ локальной атомной структуры проведен методом спектроскопии протяженных тонких структур энергетических потерь электронов. Получены спектры возбуждения М_2,3-края железа и K-края кислорода в геометрии обратного рассеяния от поверхности. Вариация энергии падающего электронного потока позволила получить сигнал от возбуждения атомов кислорода и железа с одинаковой глубины. Анализ экспериментальных данных проведен методом решения обратной задачи на нахождение парных корреляционных функций с использованием регуляризации по Тихонову. Исследование локальной атомной структуры проведено на глубине профилирования 5, 25 и 50 нм. Показано, что ионно-модифицированный слой в пределах проективного пробега ионов аргона состоит преимущественно из оксидов железа. На глубине профилирования 50 нм параметры локального окружения атомов Fe близки параметрам неокисленного железа. Никель в результате поверхностной диффузии обнаружен на глубине более 50 нм.