Depth Distribution of Radiation Defects under Ion Irradiation of Silicon

N. V. Novikov; Новиков Н. В.; N. G. Chechenin; Чеченин Н. Г.; A. A. Shirokova; Широкова А. А.

doi:10.31857/S1028096023010181

Распределение радиационных дефектов по глубине при ионном облучении кремния

Авторы: Новиков Н.В.¹, Чеченин Н.Г.¹, Широкова А.А.¹
Учреждения:
1. Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, НИИЯФ им. Д.В. Скобельцына
Выпуск: № 1 (2023)
Страницы: 50-54
Раздел: Статьи
URL: https://journals.rcsi.science/1028-0960/article/view/137658
DOI: https://doi.org/10.31857/S1028096023010181
EDN: https://elibrary.ru/BLSFQY
ID: 137658

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ
Доступ закрыт

Доступ предоставлен
Доступ закрыт

Только для подписчиков

Аннотация
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

Плотность распределения дефектов достигает максимума на глубине, которая зависит от энергии и массы иона. Эта глубина уменьшается с увеличением угла падения из-за многократного рассеяния первичных ионов в поверхностных слоях мишени. С увеличением массы иона максимальная плотность дефектов увеличивается по степенному закону. Асимметрия максимума в распределении дефектов по глубине связана с увеличением упругих потерь энергии при замедлении иона и уменьшением коэффициента прохождения ионов при увеличении глубины слоя.

Ключевые слова

облученный материал, ионно-индуцированный дефект, смещение на атом, упругие потери энергии ионов.

Список литературы

Zhang Y., Weber W. J. // Appl. Phys. Rev. 2020. V. 7. P. 041307. https://doi.org/10.1063/5.0027462
Lindhard J., Nielsen V., Scharff M. et al. // Mat. Fys. Medd. Dan. Vid. Selsk. 1963. V. 33. № 10. P. 1.
Лейман К. Взаимодействие излучения с твердым телом и образование элементарных дефектов. М.: Атомиздат, 1979. 295 с.
Nordlund K. // J. Nucl. Mater. 2019. V. 520. P. 273. https://doi.org/10.1016/j.jnucmat.2019.04.028
Chen E.Y., Deo C., Dingreyille R. // J. Mater. Res. 2019. V. 34. P. 2239. https://doi.org/10.1557/jmr.2019.42
Chen S., Tamagno P., Bernard D. et al. // Results Phys. 2020. V. 7. P. 03023. https://doi.org/10.1016/j.rinp.2020.103023
Novikov N.V., Chechenin N.G., Shirokova A.A. // Rad. Eff. Defects Solids. 2021. V. 176. P. 1107. https://doi.org/10.1080/10420150.2021.2007915
Таперо К.И., Улимов В.Н., Членов А.М. Радиационные эффекты в кремниевых интегральных схемах космического применения. М.: Изд-во БИНОМ Лаборатория знаний, 2014. 302 с.
Ziegler J., Biersack J.P. SRIM: the Stopping and Range of Ions in Matter. www.srim.org.
Plimpton S. // J. Comput. Phys. 1995. V. 117. P. 1.
Allison J., Amako K., Apostolakis J. et al. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2016.V. 835. P. 186. geant4.web.cern.ch.
Ziegler J.F., Biersack J.P., Littmark U. The Stopping and Range of Ions in Matter, N.Y.: Pergamon, 1985.
Kinchin G.H., Pease R.S. // Rep. Prog. Phys. 1955. V. 18. P. 1.