Depth Distribution of Radiation Defects under Ion Irradiation of Silicon

Мұқаба

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат Ашық рұқсат
Рұқсат жабық Рұқсат берілді
Рұқсат жабық Тек жазылушылар үшін

Аннотация

The defect distribution density reaches its maximum at a depth that depends on the energy and mass of the ion. This depth decreases with increasing angle of incidence due to multiple scattering of primary ions in the surface layers of the target. As the ion mass increases, the maximum defect density increases according to a power law. The asymmetry of the maximum in the depth distribution of defects is associated with an increase in the elastic energy loss during ion stopping and a decrease in the ion transmission coefficient with increasing layer depth.

Авторлар туралы

N. Novikov

Moscow State University, Skobeltsyn Institute of Nuclear Physics

Хат алмасуға жауапты Автор.
Email: nvnovikov65@mail.ru
Russia, 119991, Moscow

N. Chechenin

Moscow State University, Skobeltsyn Institute of Nuclear Physics

Email: nvnovikov65@mail.ru
Russia, 119991, Moscow

A. Shirokova

Moscow State University, Skobeltsyn Institute of Nuclear Physics

Email: nvnovikov65@mail.ru
Russia, 119991, Moscow

Әдебиет тізімі

  1. Zhang Y., Weber W. J. // Appl. Phys. Rev. 2020. V. 7. P. 041307. https://doi.org/10.1063/5.0027462
  2. Lindhard J., Nielsen V., Scharff M. et al. // Mat. Fys. Medd. Dan. Vid. Selsk. 1963. V. 33. № 10. P. 1.
  3. Лейман К. Взаимодействие излучения с твердым телом и образование элементарных дефектов. М.: Атомиздат, 1979. 295 с.
  4. Nordlund K. // J. Nucl. Mater. 2019. V. 520. P. 273. https://doi.org/10.1016/j.jnucmat.2019.04.028
  5. Chen E.Y., Deo C., Dingreyille R. // J. Mater. Res. 2019. V. 34. P. 2239. https://doi.org/10.1557/jmr.2019.42
  6. Chen S., Tamagno P., Bernard D. et al. // Results Phys. 2020. V. 7. P. 03023. https://doi.org/10.1016/j.rinp.2020.103023
  7. Novikov N.V., Chechenin N.G., Shirokova A.A. // Rad. Eff. Defects Solids. 2021. V. 176. P. 1107. https://doi.org/10.1080/10420150.2021.2007915
  8. Таперо К.И., Улимов В.Н., Членов А.М. Радиационные эффекты в кремниевых интегральных схемах космического применения. М.: Изд-во БИНОМ Лаборатория знаний, 2014. 302 с.
  9. Ziegler J., Biersack J.P. SRIM: the Stopping and Range of Ions in Matter. www.srim.org.
  10. Plimpton S. // J. Comput. Phys. 1995. V. 117. P. 1.
  11. Allison J., Amako K., Apostolakis J. et al. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2016.V. 835. P. 186. geant4.web.cern.ch.
  12. Ziegler J.F., Biersack J.P., Littmark U. The Stopping and Range of Ions in Matter, N.Y.: Pergamon, 1985.
  13. Kinchin G.H., Pease R.S. // Rep. Prog. Phys. 1955. V. 18. P. 1.

Қосымша файлдар

Қосымша файлдар
Әрекет
1. JATS XML
2.

Жүктеу (58KB)
3.

Жүктеу (54KB)
4.

Жүктеу (56KB)
5.

Жүктеу (59KB)

© Н.В. Новиков, Н.Г. Чеченин, А.А. Широкова, 2023

Осы сайт cookie-файлдарды пайдаланады

Біздің сайтты пайдалануды жалғастыра отырып, сіз сайттың дұрыс жұмыс істеуін қамтамасыз ететін cookie файлдарын өңдеуге келісім бересіз.< / br>< / br>cookie файлдары туралы< / a>