Высокоразрешающая рентгеновская микрооптика: технологии и материалы

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Представлены перспективы использования рентгеновских высокоразрешающих микролинз для задач корегентной визуализации. Рассмотрены современные технологии и методы микрообработки для изготовления 2D-микролинз на примере лазерных систем, ионно-лучевой литографии и аддитивных технологий. Произведены оценки эффективности разных материалов для приложений рентгеновской микрооптики и выполнена оптимизация временных затрат для изготовления микрообъектива с разрешением 100 нм с использованием систем ионно-лучевой литографии.

Полный текст

Доступ закрыт

Об авторах

И. И. Лятун

Балтийский федеральный университет им. Иммануила Канта

Автор, ответственный за переписку.
Email: ivanlyatun@gmail.com

Международный научно-исследовательский центр “Когерентная рентгеновская оптика для установок Мегасайенс”

Россия, Калининград

П. Н. Медведская

Балтийский федеральный университет им. Иммануила Канта

Email: ivanlyatun@gmail.com

Международный научно-исследовательский центр “Когерентная рентгеновская оптика для установок Мегасайенс”

Россия, Калининград

А. С. Коротков

Балтийский федеральный университет им. Иммануила Канта

Email: ivanlyatun@gmail.com

Международный научно-исследовательский центр “Когерентная рентгеновская оптика для установок Мегасайенс”

Россия, Калининград

С. А. Шевырталов

Балтийский федеральный университет им. Иммануила Канта

Email: ivanlyatun@gmail.com

Международный научно-исследовательский центр “Когерентная рентгеновская оптика для установок Мегасайенс”

Россия, Калининград

С. С. Лятун

Балтийский федеральный университет им. Иммануила Канта

Email: ivanlyatun@gmail.com

Международный научно-исследовательский центр “Когерентная рентгеновская оптика для установок Мегасайенс”

Россия, Калининград

А. А. Снигирев

Балтийский федеральный университет им. Иммануила Канта

Email: ivanlyatun@gmail.com

Международный научно-исследовательский центр “Когерентная рентгеновская оптика для установок Мегасайенс”

Россия, Калининград

Список литературы

  1. Snigirev A., Snigireva I., Lengeler B., Kohn V. // Nature. 1996. V. 384. № 6604. P. 49. https://doi.org./10.1038/384049a0
  2. Roth T., Alianelli L., Lengeler D., Snigirev A., Seiboth F. // MRS Bull. 2017. V. 42. № 6. P. 430. https://doi.org./10.1557/mrs.2017.117
  3. Snigirev A., Snigireva I. // Comptes Rendus Physique. 2008. V. 9. № 5–6. P. 507. https://doi.org./10.1016/j.crhy.2008.02.003
  4. Medvedskaya P., Lyatun I., Golubenko K., Yunkin V., Snigireva I., Snigirev A. // Proc. SPIE. EUV and X-ray Optics, Sources, Instrumentation. 2021. V. 117760I. P. 84. https://doi.org/10.1117/12.2589310
  5. Barannikov A., Polikarpov M., Ershov P., Bessonov V., Abrashitova K., Snigireva I., Yunkin V., Bourenkov G., Schneider T., Fedyaninc A.A., Snigirev A. // J. Synchr. Radiat. 2019. V. 26. № 3. P. 714–719. https://doi.org./10.1107/S1600577519001656
  6. Medvedskaya P., Lyatun I. Shevyrtalov S., Korotkov A., Polikarpov M., Snigireva I., Yunkin V., Snigirev A. // AIP Conf. Proc. 2020. V. 2299. P. 060011. https://doi.org./10.1063/5.0030736
  7. X-Ray Optics Calculator IMT RAS. Chernogolovka, 2010. http://nano.iptm.ru/xcalc/xcalc_mysql/crl_par.php. Cited 07 December 2023
  8. Kobayashi V. // J. Mater. Sci. 1988. V. 23. P. 4392. https://doi.org./10.1007/BF00551937
  9. Snigireva I., Polikarpov M., Snigirev A. // Synchr. Radiat. News. 2021. V. 34. № 6. P. 12. https://doi.org./10.1080/08940886.2021.2022387
  10. Sanli U.T., Rodgers G., Zdora M.-C., Qi P., Garrevoet J., Falch K. V., Müller B., David C., Vila-Comamala J. // Light: Sci. Applications. 2023. V. 12. № 1. P. 107. https://doi.org./10.1038/s41377-023-01157-8
  11. Petrov A., Bessonov V., Abrashitova K., Kokareva N., Safronov K., Barannikov A., Ershov P., Klimova N., Lyatun I., Yunkin V., Polikarpov M., Snigireva I., Fedyanin A., Snigirev A. // Opt. Express. 2017. V. 25. № 13. P. 14173. https://doi.org./10.1364/OE.25.014173
  12. Polikarpov M., Kononenko T., Ralchenko V., Ashkinazi E., Konov V., Ershov P., Kuznetsov S., Yunkin V., Snigireva I., Polikarpov V., Snigirev A. // Proc. SPIE. Advances in X-Ray/EUV Optics and Components XI. 2016. P. 99630Q. https://doi.org./10.1117/12.2238029
  13. Medvedskaya P., Lyatun I., Shevyrtalov S., Polikarpov M., Snigireva I., Yunkin V., Snigirev A. // Opt. Express. 2020. V. 28. № 4. P. 4773. https://doi.org./10.1364/OE.384647
  14. Brogden V., Johnson C., Rue C., Graham J., Langworthy K., Golledge J., McMorran B. // Adv. Mater. Sci. Engin. 2021. V. 2021. P. 8842777. https://doi.org./10.1155/2021/8842777
  15. Burnett T., Kelley R., Winiarski B., Contreras L., Daly M., Gholinia A., Burke M.G., Withers P.J. // Ultramicroscopy. 2016. V. 161. P. 119. https://doi.org./10.1016/j.ultramic.2015.11.001
  16. Fu J., Joshi S. B., Catchmark J.M. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2008. V. 26. № 3. P. 422. https://doi.org./10.1116/1.2902962
  17. Ziegler J.F. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2004. V. 219. P. 1027. https://doi.org./10.1016/j.nimb.2004.01.208
  18. Lyatun I., Ershov P., Snigireva I., Snigirev A. // J. Synchr. Radiat. 2020. V. 27. № 1. P. 44. https://doi.org./10.1107/S1600577519015625
  19. Polikarpov M., Emerich H., Klimova N., Snigireva I., Savin V., Snigirev A. // Phys. Stat. Sol. B. 2018. V. 255. № 1. P. 1700229. https://doi.org./10.1002/pssb.201700229
  20. Snigireva I., Irifune T., Shinmei T., Medvedskaya P., Shevyrtalov S., Bourenkov G., Polikarpov M., Rashchenko S., Snigirev A., Lyatun I. // Proc. SPIE. Advances in X-Ray/EUV Optics and Components XVI. 2021. V. 11837. P. 8. https://doi.org./10.1117/12.2594675
  21. Adams D.P., Vasile M.J., Mayer T.M., Hodges V.C. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2003. V. 21. № 6. P. 2334. https://doi.org./10.1116/1.1619421

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать
2. Рис. 1. Схема преломляющей и составной линз.

Скачать (26KB)
Метаданные
3. Рис. 2. Сравнение оптических характеристик материалов рентгеновской оптики (a), оптические характеристики составной преломляющей линзы в зависимости от радиуса кривизны параболического профиля (б).

Скачать (36KB)
Метаданные
4. Рис. 3. Изготовление алмазной микролинзы методом ионно-лучевой литографии с применением газовой химии (светлые участки — переосажденный материал), радиус кривизны линзы: а –5.9; б — 3.3 мкм.

Скачать (21KB)
Метаданные

© Институт физики твердого тела РАН, Российская академия наук, 2024

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».